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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum PBR 360
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum PBR 360
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original PBR 360 Pirani/Bayard-Alpert-Transmitter...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Varianten Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 1.3.4 Abkürzungen Markennachweis Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Messsysteme 3.1.2 Arbeitsweise des Transmitters... - Seite 4 Inhaltsverzeichnis Recycling und Entsorgung 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 11.2 Transmitter entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 14.1 Zubehörinformationen 14.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.3 Abmessungen EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 4/50...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Varianten Tab. 3: Verwendete Abkürzungen Tab. 4: Statusanzeige Tab. 5: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Tab. 6: Umrechnungstabelle Tab. 7: Korrekturfaktoren für den reinen Pirani-Betrieb Tab. 8: Korrekturfaktoren für HIMS Tab.
- Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Aufbau des Transmitters Abb. 2: Messkonfiguration Abb. 3: Aufbau des Bayard-Alpert-Messsystems Abb. 4: Vakuumanschluss herstellen Abb. 5: Elektronikeinheit Abb. 6: Anschlussplan Abb. 7: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Abb. 8: Ein- und Ausschaltbereich wählen Abb. 9: Beziehung zwischen Messsignal und Druck Abb.
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Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Tab. 2: Varianten Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produkts. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Informationen, die nur auf eines der Produkte zutreffen, sind entsprechend gekennzeichnet. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu. -
Seite 8: Konventionen
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild befindet sich an der Rück- seite des Geräts. D-35614 Asslar Mod. PBR 360 PT R27 01x 12345678 Range 5.0x10 - 1000 hPa Input 20...30 V DC 9.0 W... -
Seite 9: Abkürzung
Normalnull Druck Pirani PELV Schutzkleinspannung (protective extra low voltage) Speicherprogrammierbare Steuerung Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Tab. 3: Verwendete Abkürzungen 1.4 Markennachweis ● FullRange ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® ist eine Marke der Hirschmann Electronics GmbH. 9/50... -
Seite 10: Sicherheit
Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produkts Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produkts berücksichtigt. Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. - Seite 11 ● Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ● Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 ► Sichern Sie die Leitung zum Produkt ab. – Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. Risiken beim Betrieb GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei eindringender Feuchtigkeit In das Gerät eindringende Feuchtigkeit führt zu Personenschäden durch Stromschläge.
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Seite 12: Sicherheitsmaßnahmen
Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahren durch Reinigungsmittel Die verwendeten Reinigungsmittel verursachen Gesundheitsgefahren wie z. B. Vergiftungen, Allergi- en, Hautreizungen, Verätzungen oder Schädigungen der Atemwege. ► Beachten Sie beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften. ► Halten Sie die Schutzmaßnahmen bezüglich Handhabung und Entsorgung von Reinigungsmit- teln ein. -
Seite 13: Bestimmungsgemäße Verwendung
Der FullRange-Transmitter dient zur Vakuummessung von Gasen im Bereich von 5 × 10 bis 1000 hPa. Produkt bestimmungsgemäß verwenden ► Betreiben Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät. ► Installieren, betreiben und warten Sie den Transmitter ausschließlich gemäß dieser Betriebsanlei- tung. -
Seite 14: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion emi on high hard Abb. 1: Aufbau des Transmitters 1 LED "emi on" (Emission / Heißkathode) Schalter für Umschaltpunkt Pirani/Heiß- kathode 2 Taster "adj" für Atmosphären- und Nullpunktabgleich 3.1.1 Messsysteme Der Transmitter hat 2 Messsysteme: ● Pirani-Messsystem (Kontrollbereich) ●... -
Seite 15: Bayard-Alpert-Messsystem
Produktbeschreibung Hot cathode Pirani 5 × 10 1000 hPa Abb. 2: Messkonfiguration Der Einschaltpunkt P ist der Punkt, bei dem das HIMS bei abfallendem Druck einschaltet. Der Aus- schaltpunkt P ist der Punkt, bei dem das HIMS bei ansteigendem Druck ausschaltet. Der Übergangs- bereich zwischen P und P ist der Druckbereich, in dem der Transmiter anteilig sowohl das Pira-... -
Seite 16: Produkt Identifizieren
Konvektion und anderen Effekten überlagert, so dass in einem Bereich >100 hPa keine genaue Druckbestimmung mit dem Pirani-Messsystem mehr möglich ist. 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. 3.3 Lieferumfang ●... -
Seite 17: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produkts. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Produkt sicher transportieren ►... -
Seite 18: Installation
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... -
Seite 19: Elektronikeinheit
Elektronikeinheit möglich ist. – Dies erleichtert die Montage der CF-Flanschverbindung. Vorgehen 1. Entfernen Sie die Schutzkappe und bewahren Sie diese auf. 2. Montieren Sie den Transmitter mit Vakuumbauteilen aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop am Vakuumsystem. 5.2 Elektronikeinheit GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. -
Seite 20: Abb. 5: Elektronikeinheit
Installation HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein- trächtigen die Funktion. ► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu- derfreie Laborhandschuhe. -
Seite 21: Elektrischen Anschluss Herstellen
1. Schließen Sie das Messkabel am Transmitter an. 2. Ziehen Sie die Arretierschraube der Hirschmann-Kabeldose fest. – Anziehdrehmoment: ≤ 0,2 Nm 3. Schließen Sie den Transmitter an ein Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder ein kundeneigenes Auswertegerät an. Abb. 6:... -
Seite 22: Abb. 7: Messkabel Und Hirschmann-Kabeldose
Installation Abb. 7: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Messkabel herstellen Weitere Informationen zu Messkabeltyp und Leiterquerschnitten finden Sie in den technischen Daten. 1. Beachten Sie für beste Signalqualität die nachfolgenden Schritte, weil Erdschleifen, Potentialun- terschiede oder EMV das Messsignal beeinflussen. 2. Verwenden Sie ein Kabel mit Geflechtsschirm. 3. -
Seite 23: Betrieb
Betrieb 6 Betrieb Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung ist der Transmitter betriebsbereit. Empfehlungen ► Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten. ► Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck. ► Lassen Sie den Transmitter unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet. Messgenauigkeit Die Messgenauigkeit ist im Bereich >1 hPa und <1 ×... -
Seite 24: Messsignal Und Druck Umrechnen
Betrieb high Hot cathode Pirani hard 5 × 10 1000 hPa high emi on high Hot cathode Pirani hard hard 5 × 10 1000 hPa high Hot cathode Pirani hard 5 × 10 1000 hPa Abb. 8: Ein- und Ausschaltbereich wählen Vorgehen 1. -
Seite 25: Effektiven Druck Mit Korrekturfaktoren Ermitteln
Betrieb Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) [hPa] [Torr] -0,125 [Pa] Tab. 5: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Messsignal (U) Druck (p) [hPa] [Torr] [Pa] < 0,5 Sensorfehler (sensor error) > 0,5 bis < 0,774 Messbereichsunterschreitung (underrange) 0,774 5 ×... -
Seite 26: Tab. 7: Korrekturfaktoren Für Den Reinen Pirani-Betrieb
Betrieb Druckbereich > 10 hPa (reiner Pirani-Betrieb) p [hPa] 1E-1 1E-2 1E-3 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 [hPa] Abb. 10: Messkurve bei reinem Pirani-Betrieb und bei Verwendung der Korrekturfaktoren Gasart Korrekturfaktor (C) Stickstoff (N Luft Wasserstoff (H 0,58 Helium (He) 1,02 Argon (Ar) 1,59... -
Seite 27: Degas Ausführen
Betrieb Gasart Korrekturfaktor (C) Krypton (Kr) 0,60 Xenon (Xe) 0,41 Dichlordifluormethan (CCl , R12) 0,28 Tetrafluormethan (CF , R14) 0,57 Tab. 8: Korrekturfaktoren für HIMS Korrekturfaktoren verwenden Korrekturfaktor in ein Totaldruck-Mess- und Steuergerät eingeben ► Geben Sie den Korrekturfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwerts ein. Druck für andere Gase als Luft berechnen ►... -
Seite 28: Transmitter Ausheizen
Betrieb 6.6 Transmitter ausheizen HINWEIS Beschädigung durch überhöhte Ausheiztemperatur Bei stehend eingebautem Transmitter (Flansch nach unten) verursacht aufsteigende Wärme beim Ausheizen eine Beschädigung der Elektronikeinheit. ► Demontieren Sie bei Ausheiztemperaturen >60 °C vor dem Ausheizen die Elektronikeinheit vom Messsystem. ► Heizen Sie ausschließlich den Flansch aus. Voraussetzung ●... -
Seite 29: Ausbau
Ausbau 7 Ausbau GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... -
Seite 30: Abb. 11: Transmitter Demontieren
Ausbau Abb. 11: Transmitter demontieren 1 Messkabel Schutzkappe 2 Spannelement Transmitter demontieren 1. Lösen Sie die Arretierschraube der Hirschmann-Kabeldose am Transmitter. 2. Lösen Sie das Messkabel vom Transmitter. 3. Empfehlung: Entfernen Sie vorübergehend die Elektronikeinheit des Transmitters, falls die De- montage nur ohne Elektronikeinheit möglich ist. -
Seite 31: Wartung
Garantieanspruch Öffnen des Geräts während der Gewährleistungszeit oder Beschädigung bzw. Entfernen des Garantiesiegels führen zum Verlust der Gewährleistung. Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen. -
Seite 32: Transmitter Abgleichen
► Heizen Sie die Anode aus (Degas), um kleinere Ablagerungen auf dem Elektrodensystem zu ent- fernen. 8.2 Transmitter abgleichen Pfeiffer Vacuum hat den Transmitter im Werk auf Standardwerte abgeglichen. Sie können das Pirani- Messsystem bei Bedarf selbst abgleichen. Der Transmitter erkennt automatisch, um welchen Abgleich- punkt (ATM oder HV) es sich handelt. -
Seite 33: Tab. 9: Statusanzeige
Wartung Abb. 12: Transmitter abgleichen LED "emi on" Bedeutung blinkt langsam grün ● Abgleich erfolgreich (für 1 s grün blinkend) leuchtet rot ● Fehler beim Abgleich (für 3 s rot leuchtend) Tab. 9: Statusanzeige Abgleich vorbereiten 1. Führen Sie einen Nullpunktabgleich durch ●... -
Seite 34: Messsystem Austauschen
Wartung 8.3 Messsystem austauschen HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein- trächtigen die Funktion. ► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu- derfreie Laborhandschuhe. -
Seite 35: Störungen
Gewährleistung Fehlfunktionen des Geräts, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile, fallen nicht unter die Gewährleistung. Störungsbehebung (Reset) Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 Sekunden wieder einzuschalten, wenn eine Störung aufgetreten ist. Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal dauernd ca. -
Seite 36: Versand
Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Produkt sicher versenden ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein. -
Seite 37: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Seite 38: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 39 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Seite 40: Ersatzteile
Ersatzteile 13 Ersatzteile Beschreibung Bestellnummer Messsystem, DN 25 ISO-KF PT 120 239 -T Messsystem, DN 40 ISO-KF PT 120 237 -T Messsystem, DN 40 CF-R PT 120 241 -T 40/50... -
Seite 41: Zubehör
Beachten Sie das Zubehörportfolio für ActiveLine auf unserer Homepage. 14.1 Zubehörinformationen Messkabel Messkabel in verschiedenen Längen zum Anschluss an ein Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät Leitungsdose Kabeldose zur Herstellung anwendungsspezifischer Anschlusskabel Dichtungen mit Zentrierring und Filter Filter in verschiedenen Porengrößen zum Schutz des Messsystems vor Verschmutzung bei potentiell verschmutzenden Anwendungen 14.2 Zubehör bestellen... -
Seite 42: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33... -
Seite 43: Tab. 14: Abgleich
Technische Daten und Abmessungen Parameter Wert Pirani Abgleich automatisch durch den Heißkathoden-Messkreis im Bereich –5 <1 × 10 Abgleich durch Tastendruck bei Atmosphärendruck Nullpunktabgleich Abgleich durch Tastendruck bei ≤ 5 × 10 Tab. 14: Abgleich Parameter Wert Steuereingangssignal 0 V / 24 V, SPS-Pegel, high aktiv max. -
Seite 44: Tab. 17: Inneres Volumen Und Gewicht
Technische Daten und Abmessungen Parameter Wert Gewicht DN 25 ISO-KF 470 g DN 40 ISO-KF 470 g DN 40 CF-R 685 g Tab. 17: Inneres Volumen und Gewicht Parameter Wert Relative Luftfeuchtigkeit bei Temperaturen bis +30 °C max. 80 % bei Temperaturen bis +40 °C max. -
Seite 45: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 15.3 Abmessungen Abb. 14: Abmessungen DN 25 ISO-KF Abmessungen in mm Abb. 15: Abmessungen DN 40 ISO-KF Abmessungen in mm 45/50... -
Seite 46: Abb. 16: Abmessungen Dn 40 Cf-R
Technische Daten und Abmessungen Abb. 16: Abmessungen DN 40 CF-R Abmessungen in mm 46/50... -
Seite 47: Eg Konformitätserklärung
Diese Konformitätserklärung wurde unter der alleinigen Verantwortung des Herstellers aus- gestellt. Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Pirani/Bayard-Alpert-Transmitter PBR 360 Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie... -
Seite 48: Uk Konformitätserklärung
Angewendete Normen und Spezifikationen: EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... - Seite 49 49/50...