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Pfeiffer Vacuum PKR 36X Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum PKR 36X Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter; kaltkathoden-transmitter
Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
PKR 36X ∣ IKR 36X
Pirani/Kaltkathoden-Transmitter ∣ Kaltkathoden-Transmitter

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum PKR 36X

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original PKR 36X ∣ IKR 36X Pirani/Kaltkathoden-Transmitter ∣ Kaltkathoden-Transmitter...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Anforderungen an den Betreiber Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Anforderungen an den Bediener Produktbeschreibung Funktion Schalter und Statusanzeige Produkt identifizieren Lieferumfang Transport und Lagerung...
  • Seite 4 Transmitter montieren Störungen Störungen beheben Fehler an der Messkammer feststellen Versand Recycling und Entsorgung 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 11.2 Transmitter entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 14.1 Zubehörinformationen 14.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.3 Abmessungen...
  • Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: PKR-Varianten Niederstrom Tab. 3: PKR-Varianten Hochstrom Tab. 4: IKR-Varianten Niederstrom Tab. 5: IKR-Varianten Hochstrom Tab. 6: Verwendete Abkürzungen Tab. 7: Leuchtdioden PKR Tab. 8: Leuchtdioden IKR Tab. 9: Betriebsarten PKR Tab. 10: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Tab.
  • Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Messkonfiguration PKR Abb. 2: Schalter und LED Abb. 3: Vakuumanschluss herstellen Abb. 4: Elektronikeinheit Abb. 5: Anschlussplan Abb. 6: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Abb. 7: Beziehung zwischen Messsignal und Druck Abb. 8: Beziehung zwischen Messsignal und Druck Abb.
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    BG 5501 TPG 366 Konformitätserklärungen (Bestandteil dieser Anleitung) Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center. 1.1.2 Varianten Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit folgenden Artikelnummern: Artikelnummer Bezeichnung PT T02 140 010 PKR 360 (DN 25 ISO-KF)
  • Seite 8: Zielgruppe

    IKR-Varianten Hochstrom Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Informationen, die nur auf eines der Produkte zutreffen, sind entsprechend gekennzeichnet. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu.
  • Seite 9: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung 1.3.2 Piktogramme Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen. Hinweis Tipp Laborhandschuhe tragen Visuell kontrollieren 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild befindet sich an der Rückseite des Gerätes. D-35614 Asslar Mod.
  • Seite 10: Markennachweis

    Zu dieser Anleitung 1.4 Markennachweis ● FullRange ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® ist eine Marke der Hirschmann Electronics GmbH. ● Scotch-Brite ® ist eine Marke der 3M Company. 10/60...
  • Seite 11: Sicherheit

    Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch berührungsgefährliche Spannung Spannungen über 30 V (AC) oder 60 V (DC) gelten nach EN 61010 als berührungsgefährlich. Wenn Sie mit berührungsgefährlicher Spannung in Kontakt kommen, führt dies zu Verletzungen durch...
  • Seite 12 ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung.
  • Seite 13: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahren durch Reinigungsmittel Die verwendeten Reinigungsmittel verursachen Gesundheitsgefahren. ► Beachten Sie beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften. ► Halten Sie die Schutzmaßnahmen bezüglich Handhabung und Entsorgung von Reinigungsmit- teln ein. ► Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen mit den Produktmaterialien. Risiken beim Versand WARNUNG Vergiftungsgefahr durch kontaminierte Produkte...
  • Seite 14: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Der Transmitter dient zur Vakuummessung von Gasen im Bereich von 1 × 10 bis 1 × 10 hPa. Produkt bestimmungsgemäß verwenden ► Betreiben Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät. ► Installieren, betreiben und warten Sie den Transmitter ausschließlich gemäß dieser Betriebsanlei- tung.
  • Seite 15: Personenqualifikation

    6. Stellen Sie die Personenqualifikation sicher. 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 16: Mit Pfeiffer Vacuum Weiterbilden

    4. Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein. 5. Beachten Sie die technischen Daten. 6. Wenden Sie sich an das Pfeiffer Vacuum Service Center falls Ihre Fragen zu Betrieb oder War- tung des Produktes in dieser Betriebsanleitung nicht beantwortet werden. – Informationen finden Sie im Pfeiffer Vacuum Servicebereich.
  • Seite 17: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion PKR-Transmitter Der Transmitter hat 2 Messsysteme: ● Pirani-Messsystem ● Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip des invertierten Magnetrons Der Pirani-Messkreis ist immer eingeschaltet. Der Transmitter aktiviert den durch den Pirani-Messkreis gesteuerten Kaltkathoden-Messkreis erst bei Drücken p < 1 × 10 hPa.
  • Seite 18: Produkt Identifizieren

    Leuchtdioden IKR 3.3 Produkt identifizieren Sie benötigen alle Daten des Typenschildes zur sicheren Identifizierung des Produktes bei der Kommu- nikation mit Pfeiffer Vacuum. 1. Lesen Sie die Daten des Typenschildes am Produkt ab. 2. Notieren Sie die abgelesenen Daten. 3. Halten Sie immer alle Angaben des Typenschildes bereit.
  • Seite 19: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport ►...
  • Seite 20: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►...
  • Seite 21: Elektronikeinheit

    – Dies erleichtert die Montage der CF-Flanschverbindung. 6. Entfernen Sie die Schutzkappe und bewahren Sie diese auf. 7. Montieren Sie den Transmitter mit Vakuumbauteilen aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop am Vakuumsystem. 8. Montieren Sie die Elektronikeinheit des Transmitters, falls Sie die Elektronikeinheit entfernt hatten.
  • Seite 22: Abb. 4: Elektronikeinheit

    Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Fehlende Erdverbindung führt zu berührungsgefährlichen Spannungen und beschädigt elektronische Bauteile. ► Befestigen Sie die Elektronikeinheit immer mit dem Gewindestift. ► Stellen Sie sicher, dass Sie den Gewindestift der Elektronikeinheit korrekt angezogen haben. HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen.
  • Seite 23: Elektrischen Anschluss Herstellen

    1. Schließen Sie das Messkabel am Transmitter an. 2. Ziehen Sie die Arretierungsschraube der Hirschmann-Kabeldose fest. – Anziehdrehmoment: ≤ 0,2 Nm 3. Schließen Sie den Transmitter an ein Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder ein kundeneigenes Auswertegerät an. Signal 4.7 Ω...
  • Seite 24: Abb. 6: Messkabel Und Hirschmann-Kabeldose

    Installation Abb. 6: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Messkabel herstellen Weitere Informationen zu Messkabeltyp und Leiterquerschnitten finden Sie in den Technischen Daten. 1. Beachten Sie für beste Signalqualität die nachfolgenden Schritte, weil Erdschleifen, Potentialun- terschiede oder EMV das Messsignal beeinflussen. 2. Verwenden Sie ein Kabel mit Geflechtsschirm. 3.
  • Seite 25: Betrieb

    Betrieb 6 Betrieb IKR-Transmitter durch einen Pirani-Transmitter steuern Bei Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergeräten mit mindestens 2 Transmitteran- schlüssen können Sie den IKR-Transmitter beispielsweise durch einen Pirani-Transmitter steuern. Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung steht am elektrischen Anschluss zwischen Pins 2 und 3 das Messsignal zur Verfügung.
  • Seite 26: Pkr-Messsignal Und Druck Umrechnen

    Betrieb 6.2 PKR-Messsignal und Druck umrechnen 1E+04 1E+02 torr 1E+00 1E–02 1E–04 1E–06 1E–08 1E–09 0.0 0.5 10.5 1.217 1.397 U [V] Abb. 7: Beziehung zwischen Messsignal und Druck p Druck Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) Konstante (d) [hPa] 11,33 [mbar]...
  • Seite 27: Ikr-Messsignal Und Druck Umrechnen

    Betrieb 6.3 IKR-Messsignal und Druck umrechnen 1E+00 1E–01 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 U [V] Abb. 8: Beziehung zwischen Messsignal und Druck p Druck Messsignal [V] Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) [hPa] 10,5 [mbar]...
  • Seite 28: Abb. 9: Druckbereich > 10 Hpa Reiner Pirani-Betrieb Pkr

    Betrieb p [hPa] Freon 12 –1 Water vapor –2 –3 –2 –1 4 6 8 4 6 8 4 6 8 4 6 8 [hPa] Abb. 9: Druckbereich > 10 hPa reiner Pirani-Betrieb PKR p [hPa] –1 –2 –3 –4 –5 –6 –6...
  • Seite 29: Tab. 12: Kalibrierfaktoren Für Den Druckbereich

    Betrieb p [hPa] Xe Kr Ne He –3 –4 –5 –6 –7 –7 –6 –5 –4 –3 –2 [hPa] Abb. 11: Angezeigter Druck IKR Kalibrierfaktoren Im Druckbereich < 10 hPa ist die Anzeige linear. Gas- und Dampfgemische Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z.
  • Seite 30: Zündverzögerung

    Betrieb Druck für andere Gase als Luft berechnen ► Berechnen Sie den effektiven Druck nach folgender Formel: = C × p ● P = effektiver Druck ● C = Kalibrierfaktor ● p = angezeigter Druck (Transmitter abgeglichen für Luft) 6.5 Zündverzögerung Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung.
  • Seite 31 Betrieb schluss führen. Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist sogar ein völliges Verlöschen der Gasentladung möglich (Anzeige: "Underrange"). Verschmutzungsgrad beeinflussen Sie können das Maß der Verschmutzung in begrenztem Rahmen beeinflussen. Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten. ►...
  • Seite 32: Ausbau

    Ausbau 7 Ausbau GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►...
  • Seite 33: Abb. 12: Transmitter Demontieren

    Ausbau Abb. 12: Transmitter demontieren 1 Dichtung mit Zentrierring Spannelement 2 Schutzkappe Transmitter demontieren 1. Lösen Sie die Arretierungsschraube der Hirschmann-Kabeldose am Transmitter. 2. Lösen Sie das Messkabel vom Transmitter. 3. Empfehlung: Entfernen Sie vorübergehend die Elektronikeinheit des Transmitters, falls die De- montage nur ohne Elektronikeinheit möglich ist.
  • Seite 34: Wartung

    Folgendes führt zum Verlust der Gewährleistung: ● Beschädigung oder Entfernen eines Verschlusssiegels ● Öffnen des Gerätes während der Gewährleistungszeit Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen.
  • Seite 35: Ikr-Transmitter Warten

    1000 hPa ausgibt. – Der Abgleich war in diesem Fall nicht erfolgreich. 8.2 IKR-Transmitter warten Pfeiffer Vacuum hat den Transmitter im Werk auf Standardwerte abgeglichen. Der Transmitter ist war- tungsfrei. Defekte Komponenten ersetzen ► Ersetzen Sie nur die Ionisationskammer und die Zündhilfe oder die komplette Messkammer (Er- satzsensor), wenn das Gerät defekt ist.
  • Seite 36: Zündhilfe Austauschen

    Wartung Benötigte Werkzeuge ● Innensechskantschlüssel, SW 2 ● Zange für Sicherungsring ● Pinzette Abb. 14: Transmitter zerlegen 1 Sicherungsring Gewindestift 2 Ionisationskammer Elektronikeinheit 3 Messkammer Transmitter zerlegen 1. Demontieren Sie den Transmitter aus dem Vakuumsystem. 2. Lösen Sie den Gewindestift seitlich an der Elektronikeinheit. 3.
  • Seite 37: Abb. 15: Zündhilfe Entfernen

    Wartung Abb. 15: Zündhilfe entfernen 1 Zündhilfe Montagewerkzeug Zündhilfe entfernen ► Entfernen Sie die Zündhilfe. Abb. 16: Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen 1 Zündhilfe Montagewerkzeug 2 gezackte Seite der Zündhilfe Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen 1. Legen Sie die neue Zündhilfe in das Montagewerkzeug ein. 2.
  • Seite 38: Komponenten Reinigen

    ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Sehen Sie spezielle Maßnahmen vor, falls Tropfwasser zu befürchten ist. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center. HINWEIS Beschädigung durch ungeeignete Reinigungsmittel Ungeeignete Reinigungsmittel beschädigen das Produkt.
  • Seite 39: Transmitter Montieren

    Wartung Komponenten reinigen 1. Zerlegen Sie den Transmitter soweit wie benötigt. – Verbiegen Sie die Anode nicht. 2. Entfernen Sie die alte Zündhilfe. 3. Bearbeiten Sie die Dichtfläche nur konzentrisch. 4. Reiben Sie die Innenwandungen der Messkammer bis zur Nut des Sicherungsringes mit dem Po- liertuch blank.
  • Seite 40: Abb. 18: Schalter Für Kalibrierwert Cal

    Wartung Abb. 18: Schalter für Kalibrierwert CAL 1 Kalibrierwert des Ersatzsensors (komplette Messkammer) Kalibrierwert des Ersatzsensors einstellen Wenn Sie die komplette Messkammer ersetzen, müssen Sie am Transmitter den Kalibrierwert des Er- satzsensors einstellen. ► Stellen Sie den Kalibrierwert des Ersatzsensors am Schalter für den Kalibrierwert (CAL) der Elekt- ronikeinheit ein.
  • Seite 41 Wartung 8. Befestigen Sie den Gewindestift seitlich an der Elektronikeinheit. 9. Führen Sie einen manuellen ATM- und HV-Abgleich durch. IKR-Transmitter montieren 1. Tauschen Sie ggf. die Zündhilfe aus (siehe Kapitel “Zündhilfe austauschen”, Seite 36). 2. Beachten Sie die Ausrichtung der Ionisationskammer. 3.
  • Seite 42: Störungen

    Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Ionisationskammer), fallen nicht unter die Gewährleistung. Störungsbehebung (Reset) Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 Sekunden wieder einzuschalten, wenn eine Störung aufgetreten ist. 9.1 Störungen beheben Störung...
  • Seite 43: Fehler An Der Messkammer Feststellen

    Störungen Störung Mögliche Ur- Behebung sache "ST" "HV- ST" Spannung am Signal- blinkt rot EEPROM-Feh- Schalten Sie den Transmitter aus ausgang dauernd < und nach 5 Sekunden wieder ein 0,3 V (Reset). Tauschen Sie den Transmitter aus. Signal dauernd bei ca. leuchtet leuchtet Messkammer...
  • Seite 44: Versand

    Sicherheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Hinweise für den sicheren Versand ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein.
  • Seite 45: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 46: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 47 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 48: Ersatzteile

    DN 25 ISO-KF PT 120 302 -T DN 40 ISO-KF PT 120 306 -T DN 40 CF-F PT 120 310 -T PKR 36x C DN 25 ISO-KF PT 120 303 -T DN 40 ISO-KF PT 120 307 -T DN 40 CF-F...
  • Seite 49: Zubehör

    Beachten Sie das Zubehörportfolio für ActiveLine auf unserer Homepage. 14.1 Zubehörinformationen Messkabel Messkabel in verschiedenen Längen zum Anschluss an ein Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät Leitungsdose Kabeldose zur Herstellung anwendungsspezifischer Anschlusskabel Dichtungen mit Zentrierring und Filter Filter in verschiedenen Porengrößen zum Schutz des Messsystems vor Verschmutzung bei potentiell verschmutzenden Anwendungen 14.2 Zubehör bestellen...
  • Seite 50: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33...
  • Seite 51: Tab. 22: Elektrische Daten Pkr

    < 0,5 V (keine Versorgung) Beziehung Spannung- logarithmisch, Steigung 1 V / Dekade Druck Ausgangsimpedanz 2 × 4,7 Ω, kurzschlussfest Sie müssen die minimale Spannung des Versorgungsgerätes proportional zur Leitungslänge erhöhen. Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 51/60...
  • Seite 52: Tab. 23: Elektrische Daten Ikr

    1 × 10 (an 30 Tagen pro Jahr) ≤ 95 % (nicht kondensierend) 1 × 10 bis 1 × 10 Einbaulage beliebig Sie müssen die minimale Spannung des Versorgungsgerätes proportional zur Leitungslänge erhöhen. Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 52/60...
  • Seite 53: Tab. 25: Umgebungsbedingungen

    Durchführung (Isolation) Keramik (Al ), Glas Durchführung (Ring) Edelstahl (1.4435) Durchführung (Anode) Molybdän (Mo) Durchführung (Pin) Nickel-Legierung (Ni) Durchführung (PKR 36x C, IKR 36x C) Keramik beschichtet Ionisationskammer Edelstahl (1.4301, 1.4016) Zündhilfe Edelstahl (1.4310) Tab. 27: Medienberührende Werkstoffe ohne Elektronikeinheit...
  • Seite 54: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15.3 Abmessungen DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Abb. 22: Abmessungen Abmessungen in mm. 54/60...
  • Seite 55: Etl-Zertifizierung Pkr

    ETL LISTED The products PKR 360, PKR 360 C, PKR 361 and PKR 361C - conform to the UL standard UL 61010-1. - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. 3103457...
  • Seite 56: Etl-Zertifizierung Ikr

    ETL LISTED The products IKR 360, IKR 360 C, IKR 361 and IKR 361C - conform to the UL standard UL 61010-1. - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. 3103457...
  • Seite 57: Konformitätserklärung

    Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie 2015/863/EU Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Deutschland (Daniel Sälzer) Aßlar, 2020-03-19 Geschäftsführer...
  • Seite 58: Konformitätserklärung

    Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie 2015/863/EU Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Deutschland (Daniel Sälzer) Aßlar, 2020-03-19 Geschäftsführer...
  • Seite 59 59/60...

Diese Anleitung auch für:

Ikr 36x

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