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Abb. 19:
Kontaktstifte der Messkammer
1
GND (mit Flansch verbunden)
3
Anode
2+4 Pirani-Element 1
4+5 Pirani-Element 2
Messung zwischen
Sollwertbereich
2 und 4
ca. 37 Ω
4 und 5
ca. 37 Ω
6 und 7
ca. 0,15 Ω
4 und 1
∞
6 und 1
∞
3 und 1
∞
9 und 1
∞
6 und 3
∞
9 und 3
∞
Tab. 11:
Messung
Widerstandsmessung durchführen
1. Führen Sie an den Kontaktstiften der Messkammer mittels Ohmmeter die Messungen durch.
2. Tauschen Sie die komplette Messkammer aus, wenn der gemessene Wert außerhalb des Soll-
wertbereichs liegt.
6+7
Heißkathode
8
nicht verwendet
9
Ionenauffänger
Ursachen für Werte außerhalb des Sollwertbereichs
>> 37 Ω: Defektes Pirani-Filament
>> 37 Ω: Defektes Pirani-Filament
>> 0,15 Ω: Defekte Heißkathode
<< ∞: Masseschluss der Elektrode
<< ∞: Masseschluss der Elektrode
<< ∞: Masseschluss der Elektrode
<< ∞: Masseschluss der Elektrode
<< ∞: Schluss zwischen Elektroden
<< ∞: Schluss zwischen Elektroden
Störungen
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