Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung
Pirani/bayard-alpert-transmitter
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum PBR 260
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum PBR 260
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert-Transmitter...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Anforderungen an den Betreiber Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Anforderungen an den Bediener Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Arbeitsweise des Transmitters 3.1.2 Messsysteme 3.1.3 Messbereich 3.1.4 Bayard-Alpert-Messsystem... - Seite 4 Baffle austauschen Störungen Störungen beheben Fehler an der Messkammer feststellen Versand Recycling und Entsorgung 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 11.2 Transmitter entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 14.1 Zubehörinformationen 14.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.3 Abmessungen...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Varianten Tab. 3: Verwendete Abkürzungen Tab. 4: Ein- und Ausschaltschwellen der Heißkathode Tab. 5: Übergangsbereiche (Heißkathode - Pirani) Tab. 6: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Tab. 7: Umrechnungstabelle Tab. 8: Kalibrierfaktoren für den Druckbereich <...
- Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Messkonfiguration Abb. 2: Aufbau des Bayard-Alpert-Messsystems Abb. 3: Grundprinzip der selbstabgleichenden Brückenschaltung Abb. 4: Taster und LED Abb. 5: Vakuumanschluss herstellen Abb. 6: Elektronikeinheit Abb. 7: Verlängerung montieren Abb. 8: Baffle einsetzen Abb. 9: Anschlussplan Abb. 10: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Abb.
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Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Tab. 2: Varianten Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Informationen, die nur auf eines der Produkte zutreffen, sind entsprechend gekennzeichnet. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu. -
Seite 8: Konventionen
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild befindet sich an der Seite des Gerätes. D-35614 Asslar Mod. PBR 260 PT R27 00x xxxxxxxxx Made in Liechtenstein 2019/04 Input 20...30 V DC 16 W... -
Seite 9: Abkürzungen
Speicherprogrammierbare Steuerung Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Tab. 3: Verwendete Abkürzungen 1.4 Markennachweis ● FullRange ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® ist eine Marke der Hirschmann Electronics GmbH. ● Scotch-Brite ® ist eine Marke der 3M Company. 9/52... -
Seite 10: Sicherheit
Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. - Seite 11 ● Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ● Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 ► Sichern Sie die Leitung zum Produkt ab. – Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. GEFAHR Stromschlag durch in das Gerät eindringende Feuchtigkeit In das Gerät eindringende Feuchtigkeit führt zu Personenschäden durch Stromschläge.
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Seite 12: Sicherheitsmaßnahmen
Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar- beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be- seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden. ►... -
Seite 13: Bestimmungsgemäße Verwendung
Der FullRange-Transmitter dient zur Vakuummessung von Gasen im Bereich von 5 × 10 bis 1000 hPa. Produkt bestimmungsgemäß verwenden ► Betreiben Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät. ► Installieren, betreiben und warten Sie den Transmitter ausschließlich gemäß dieser Betriebsanlei- tung. -
Seite 14: Personenqualifikation
6. Stellen Sie die Personenqualifikation sicher. 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Seite 15: Mit Pfeiffer Vacuum Weiterbilden
4. Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein. 5. Beachten Sie die technischen Daten. 6. Wenden Sie sich an das Pfeiffer Vacuum Service Center falls Ihre Fragen zu Betrieb oder War- tung des Produktes in dieser Betriebsanleitung nicht beantwortet werden. – Informationen finden Sie im Pfeiffer Vacuum Servicebereich. -
Seite 16: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion 3.1.1 Arbeitsweise des Transmitters Die Messströme der Messsysteme (Bayard-Alpert und Pirani) werden in einem Strom/Frequenz-Con- verter in eine messwertabhängige Frequenz umgewandelt. Ein Mikro-Controller erzeugt aus diesem Frequenzsignal einen digitalen Wert als Maß für den gemessenen Totaldruck. Dieser Wert steht wieder als analoges Messsignal von 0 bis 10,2 V am Ausgang (Pin 2 / Pin 3) zur Verfügung, wobei der gültige Druckmessbereich sich von 0,774 V bis 10,0 V (Atmosphärendruck) erstreckt. -
Seite 17: Pirani-Messsystem
Produktbeschreibung Bereich 5 × 10 bis 10 hPa sinnvoll abgedeckt werden kann, wird im Bereich hohen Druckes (Feinva- kuum) ein niedriger Emissionsstrom und im Bereich niedrigen Druckes (Hochvakuum) ein hoher Emissi- onsstrom benutzt. Die Emissionsstrom-Umschaltung geschieht bei abnehmendem Druck bei etwa 7,2 ×... -
Seite 18: Taster Und Statusanzeige
3.3 Produkt identifizieren Sie benötigen alle Daten des Typenschildes zur sicheren Identifizierung des Produktes bei der Kommu- nikation mit Pfeiffer Vacuum. 1. Lesen Sie die Daten des Typenschildes am Produkt ab. 2. Notieren Sie die abgelesenen Daten. 3. Halten Sie immer alle Angaben des Typenschildes bereit. -
Seite 19: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport ►... -
Seite 20: Installation
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... -
Seite 21: Elektronikeinheit
► Montieren Sie ein optionales Baffle, bei potentiell verschmutzenden Anwendungen und zum Schutz der Elektroden vor Licht und schnellen Teilchen. – Pfeiffer Vacuum liefert den Transmitter standardmäßig mit eingebautem Gitter aus. ► Verwenden Sie als Vakuum-Flanschdichtung eine Metalldichtung (Ultra-Dichtring), da Kunststoff- dichtungen (z. -
Seite 22: Verlängerung Montieren
Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Fehlende Erdverbindung führt zu berührungsgefährlichen Spannungen und beschädigt elektronische Bauteile. ► Befestigen Sie die Elektronikeinheit immer mit dem Gewindestift. ► Stellen Sie sicher, dass Sie den Gewindestift der Elektronikeinheit korrekt angezogen haben. HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen. -
Seite 23: Baffle Einsetzen
Installation Benötigtes Zubehör ● Ausheizverlängerung Abb. 7: Verlängerung montieren 1 Messsystem 2 Nut Gewindestift 3 Innensechskant-Gewindestift (3×) Elektronikeinheit 4 Verlängerung Vorgehen 1. Entfernen Sie die Elektronikeinheit. 2. Schieben Sie das Messsystem bis zum Anschlag in die Verlängerung. 3. Beachten Sie die Anordnung der Pins und der Nut. 4. -
Seite 24: Elektrischen Anschluss Herstellen
► Verbinden Sie die Abschirmung (Pin 6) in jedem Fall beim Versorgungsgerät mit Erde. Benötigte Werkzeuge ● Kreuzschlitzschraubendreher ● Drehmomentschlüssel (≤ 0,2 Nm) Benötigte Materialien ● Messkabel für ein Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät aus dem ActiveLine-Zube- hör ● selbst hergestelltes Messkabel für ein kundeneigenes Auswertegerät ● Hirschmann-Kabeldose... -
Seite 25: Abb. 9: Anschlussplan
Elektrischen Anschluss herstellen 1. Schließen Sie das Messkabel am Transmitter an. 2. Ziehen Sie die Arretierungsschraube der Hirschmann-Kabeldose fest. – Anziehdrehmoment: ≤ 0,2 Nm 3. Schließen Sie den Transmitter an ein Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder ein kundeneigenes Auswertegerät an. Degas –... -
Seite 26: Betrieb
Betrieb 6 Betrieb Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung steht am elektrischen Anschluss zwischen Pins 2 und 3 das Messsignal zur Verfügung. Empfehlungen ► Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten. ► Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck. ► Lassen Sie den Transmitter unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet. Messgenauigkeit Die Messgenauigkeit ist im Bereich >... -
Seite 27: Messsignal Und Druck Umrechnen
Betrieb 6.2 Messsignal und Druck umrechnen p [hPa] 1E+04 1E+03 1E+02 underrange 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 overrange 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 10.0 U [V] Abb. 12: Beziehung zwischen Messsignal und Druck p Druck Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) [hPa]... -
Seite 28: Effektiven Druck Mit Kalibrierfaktoren Ermitteln
Betrieb Messsignal (U) Druck (p) [hPa] [Torr] [Pa] 7,75 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 8,50 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 9,25 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 10,00 1 × 10 7,5 ×... -
Seite 29: Transmitter Ausheizen (Degas)
Betrieb Gasart Kalibrierfaktor (C) Luft, Sauerstoff (O ), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N Wasserstoff (H Helium (He) Neon (Ne) Argon (Ar) Krypton (Kr) Xenon (Xe) Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte. Tab. 8: Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10 Gasart Kalibrierfaktor (C) Luft, Sauerstoff (O ), Kohlenstoffmonoxid (CO) Wasserstoff (H... -
Seite 30: Transmitter Während Des Betriebes Ausheizen
Betrieb Ablagerungen auf dem HIMS haben Instabilitäten des Messwertes zur Folge. Der Degas-Vorgang be- wirkt eine Erhitzung des Elektronenauffängergitters auf ca. 700 °C durch Elektronen-Bombardement und damit eine Reinigung des Messelements. Benötigte Geräte ● Totaldruck-Mess- und Steuergerät, ● handbetätigten Schalter ●... -
Seite 31: Ausbau
Ausbau 7 Ausbau GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... -
Seite 32: Abb. 15: Transmitter Demontieren
Ausbau Abb. 15: Transmitter demontieren 1 Messkabel Schutzkappe 2 Spannelement Transmitter demontieren 1. Lösen Sie die Arretierungsschraube der Hirschmann-Kabeldose am Transmitter. 2. Lösen Sie das Messkabel vom Transmitter. 3. Empfehlung: Entfernen Sie vorübergehend die Elektronikeinheit des Transmitters, falls die De- montage nur ohne Elektronikeinheit möglich ist. -
Seite 33: Wartung
Garantieanspruch Öffnen des Geräts während der Gewährleistungszeit oder Beschädigung bzw. Entfernen des Garantiesiegels führen zum Verlust der Gewährleistung. Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen. -
Seite 34: Transmitter Abgleichen
► Heizen Sie die Anode aus (Degas), um kleinere Ablagerungen auf dem Elektrodensystem zu ent- fernen. 8.2 Transmitter abgleichen Pfeiffer Vacuum hat den Transmitter im Werk auf Standardwerte abgeglichen. Sie können das Pirani- Messsystem bei Bedarf selbst abgleichen. Benötigtes Werkzeug ● Taststift (max. Ø 1,3 mm, 50 mm lang) (oder eine aufgebogene Büroklammer) -
Seite 35: Messsystem Austauschen
Wartung Abb. 16: Transmitter abgleichen Abgleich vorbereiten 1. Führen Sie einen Nullpunktabgleich durch ● nach einem Austausch des Messsystems ● im Rahmen der üblichen Wartungsaktivitäten zur Qualitätssicherung. 2. Achten Sie auf gleiche Einbau- und Umgebungsbedingungen wie bei Normalanwendung. HV-Abgleich durchführen ►... -
Seite 36: Baffle Austauschen
Wartung Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 2,5 Benötigtes Ersatzteil ● Ersatz-Messsystem Abb. 17: Messsystem austauschen 1 Messsystem Elektronikeinheit Vorgehen 1. Demontieren Sie den Transmitter vom Vakuumsystem. 2. Entfernen Sie die Elektronikeinheit vom defekten Messsystem. 3. Montieren Sie die Elektronikeinheit auf das neue Messsystem. 4. -
Seite 37: Abb. 18: Baffle Austauschen
Wartung Abb. 18: Baffle austauschen 1 altes Baffle Stift 2 neues Baffle Vorgehen 1. Entfernen Sie das alte Baffle vorsichtig mit dem Schraubendreher. 2. Legen Sie das neue Baffle sorgfältig auf den Messsystemeingang. 3. Drücken Sie das Baffle in der Mitte mit dem stumpfen Ende eines Stiftes vorsichtig ein. –... -
Seite 38: Störungen
Gewährleistung Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile, fallen nicht unter die Gewährleistung. Störungsbehebung (Reset) Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 Sekunden wieder einzuschalten, wenn eine Störung aufgetreten ist. 9.1 Störungen beheben Störung Mögliche Ursache... -
Seite 39: Tab. 11: Messung
Störungen Abb. 19: Kontaktstifte der Messkammer GND (mit Flansch verbunden) Heißkathode Anode nicht verwendet 2+4 Pirani-Element 1 Ionenauffänger 4+5 Pirani-Element 2 Messung zwischen Sollwertbereich Ursachen für Werte außerhalb des Sollwertbereichs 2 und 4 ca. 37 Ω >> 37 Ω: Defektes Pirani-Filament 4 und 5 ca. -
Seite 40: Versand
Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Hinweise für den sicheren Versand ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein. -
Seite 41: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Seite 42: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 43 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Seite 44: Ersatzteile
Ersatzteile 13 Ersatzteile Beschreibung Bestellnummer Elektronikeinheit PT 120 120 -T Messsystem (DN 25 ISO-KF) PT 120 121 -T Messsystem (DN 40 ISO-KF) PT 120 122 -T Messsystem (DN 40 CF-R) PT 120 123 -T Ein Sechskantschlüssel liegt jeweils bei. Abb. 20: Ersatzteile 1 Messsystem Elektronikeinheit... -
Seite 45: Zubehör
14 Zubehör Beachten Sie das Zubehörportfolio für ActiveLine auf unserer Homepage. 14.1 Zubehörinformationen Messkabel Messkabel in verschiedenen Längen zum Anschluss an ein Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät Leitungsdose Kabeldose zur Herstellung anwendungsspezifischer Anschlusskabel Ausheizverlängerung Ausheizverlängerung zum Ausheizen des Messsystems während des Betriebs Baffle Optisch dichtes Leitblech als Ersatz für das Schutzgitter des Messsystems... -
Seite 46: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33... -
Seite 47: Tab. 15: Abgleich
Während des Ausheizvorgangs liefert der Transmitter weiterhin Messwerte, die aber etwas größere Toleranz- werte als bei Normalanwendung aufweisen können. Messsignal softwaremäßig auf 10,2 V begrenzt Sie müssen die minimale Spannung des Versorgungsgerätes proportional zur Leitungslänge erhöhen. Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 47/52... -
Seite 48: Tab. 17: Elektrische Daten
Technische Daten und Abmessungen Parameter Wert Erdkonzept (siehe Kapitel “Elektrischen Anschluss herstellen”, Seite 24) Vakuumanschluss und Ver- galvanisch verbunden sorgungserde Signalerde und Versorgungs- getrennt geführt; es darf auf Grund erde der hohen Stromaufnahme nur diffe- rentiell gemessen werden. Tab. 17: Elektrische Daten Parameter Wert... -
Seite 49: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 15.3 Abmessungen DN 25 KF DN 40 KF DN 40 CF-R Abb. 21: Abmessungen Abmessungen in mm. 49/52... -
Seite 50: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Pirani/Bayard-Alpert-Transmitter PBR 260 Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie... - Seite 51 51/52...