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Effektiven Druck Mit Kalibrierfaktoren Ermitteln; Tab. 7: Umrechnungstabelle; Abb. 13: Druckbereich > 10 Hpa (Reiner Pirani-Betrieb) - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

Pirani/bayard-alpert-transmitter
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Betrieb
Messsignal (U)
[V]
7,75
8,50
9,25
10,00
> 10,0
Tab. 7:
Messsignal und Druck umrechnen
► Beachten Sie die Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck.
► Rechnen Sie das Messsignal in den Druck um:
► Rechnen Sie den Druck in das Messsignal um:
6.3 Effektiven Druck mit Kalibrierfaktoren ermitteln
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für Stickstoff (N
Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
Druckbereich > 10
p [hPa]
2
10
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
Water vapor
10
–2
10
Abb. 13:
Druckbereich < 10
Im Druckbereich < 10
28/52
Umrechnungstabelle
(U - 7,75) / 0,75 + c
p = 10
U = 0,75 × (log p-c) + 7,75
-2
hPa (reiner Pirani-Betrieb)
–3
–2
10
10
4 6
8
4 6 8
2
2
Druckbereich > 10
-3
hPa (Ioni-Bereich)
-3
hPa ist die Anzeige linear.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
Druck (p)
[hPa]
[Torr]
1 × 10
0
7,5 × 10
1
1 × 10
7,5 × 10
1 × 10
2
7,5 × 10
1 × 10
3
7,5 × 10
Messbereichsüberschreitung (overrange)
H
He
2
–1
0
10
4 6 8
4 6 8
2
2
-2
hPa (reiner Pirani-Betrieb)
[Pa]
-1
1 × 10
0
1 × 10
1
1 × 10
2
1 × 10
), Sauerstoff (O
2
Ne
Air
N
2
O
2
CO
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1
2
10
10
4 6 8
2
p
[hPa]
eff
2
3
4
5
), trockene
2

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