Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten; Tab. 10: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten - Pfeiffer Vacuum PCR 280 Betriebsanleitung

Pirani/kapazitiv-transmitter
Inhaltsverzeichnis

Werbung

15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 10:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 11:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit (N
Wiederholbarkeit (N
Transmitterabgleich (HV)
Transmitterabgleich (ATM)
Tab. 12:
Parameter
Ausgangssignal (Messsignal)
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz (minimale Last)
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
10 hPa bis 1500 hPa
1 bis 10 hPa
5 × 10
)
5 × 10
2
1 × 10
100 bis 950 hPa
950 bis 1050 hPa
)
1 × 10
2
Mess- und Druckwerte
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
-5
bis 1 hPa
-4
-3
bis 1 × 10
hPa
-3
bis 100 hPa
-3
bis 1100 hPa
Spannungsbereich
Messbereich
Fehlersignal
Beziehung Spannung-Druck

Technische Daten und Abmessungen

hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
Wert
5 × 10
-5
bis 1500 hPa
≤ 500 kPa
1000 kPa
Kapazitiver Membran-Sensor
Mischbereich
Wärmeleitung nach Pirani
±50 % des Messwertes
±15 % des Messwertes
±5 % des Messwertes
±2,5 % des Messwertes
±2 % des Messwertes
bei < 10
-5
hPa
bei > 100 hPa
Wert
0 bis +8,68 V
+1,2 bis +8,68 V
0 V (ab Werk)
1 V / Dekade, logarithmisch
2 × 4,7 Ω, kurzschlussfest
> 10 kΩ
-3
3
/s
-2
39/44

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis