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15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 10:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 11:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, N
Maximaldruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Transmitterabgleich (HV)
(Pirani-Messsystem)
Transmitterabgleich (ATM)
(Pirani-Messsystem)
Tab. 12:
Parameter
Ausgangssignal (Mess-
signal)
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz (minimale Last)
Ansprechzeit
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
Wert
)
5 × 10
2
10000 hPa, beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen < 55 °C
Pirani/Kaltkathode
ca. ±30 % im Bereich 1 × 10
ca. ±5 % im Bereich 1 × 10
bei < 1 × 10
bei Atmosphärendruck
Mess- und Druckwerte
Spannungsbereich
Fehlersignal
Beziehung Spannung-Druck
p > 10
p = 10
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
-9
– 1000 hPa
-8
-4
hPa (bei gleichzeitigem Tasterdruck)
-6
hPa
-8
hPa
Technische Daten und Abmessungen
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
-8
– 100 hPa
– 100 hPa
Wert
ca. 0 V – ca. +10,5 V
< 0,5 V (keine Versorgung)
> 9,5 V (Pirani-Messelement defekt; Fi-
lamentbruch)
logarithmisch, Steigung 0,6 V / Dekade
2 × 10 Ω
10 kΩ, kurzschlussfest
druckabhängig
ca. 10 ms
ca. 1 s
-3
3
/s
-2
45/50
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