Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten; Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten - Pfeiffer Vacuum PKR 36X Betriebsanleitung

Technische Daten und Abmessungen

15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 18:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 19:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, N
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit (N
Wiederholbarkeit (N
Tab. 20:
Parameter
Messbereich (Luft, N
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit (N
Wiederholbarkeit (N
Tab. 21:
50/60
mbar bar
1 1 · 10
1000 1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10 0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3 /s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3 /s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
Wert
)
1 × 10
2
10 000 hPa, beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen < 55 °C
> 13 000 hPa
Pirani/Kaltkathode
)
ca. ±30 % im Bereich 1 × 10
2
ca. ±50 % im Bereich 100 bis 1000 hPa
)
ca. ±5 % im Bereich 1 × 10
2
Mess- und Druckwerte PKR
Wert
)
1 × 10
2
10 000 hPa, beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen < 55 °C
> 13 000 hPa
Kaltkathode
)
ca. ±30 % im Bereich 1 × 10
2
)
ca. ±5 % im Bereich 1 × 10
2
Mess- und Druckwerte IKR
Pa hPa
-3 100 1
1000
1 · 10 5
1 0,01
-5
100 1
-3
1000 10
-3 133,32 1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m 3 /s
0,1 59,2
1 592
-3 1
1,69 · 10
0,133 78,9
0,101 59,8
-9 bis 1000 hPa
-8 bis 100 hPa
-8 bis 100 hPa
-9 bis 1 × 10 -2 hPa
-8 bis 1 × 10
-8 bis 1 × 10
kPa Torr | mm Hg
0,1 0,75
100 750
1 · 10 -3 7,5 · 10 -3
0,1 0,75
1 7,5
0,133 1
Torr l/s
atm cm
0,75 0,987
7,5 9,87
-2
1,27 · 10 1,67 · 10
1 1,32
0,76 1
-2 hPa
-2 hPa
3 /s
-2