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Bereich 5 × 10
kuum) ein niedriger Emissionsstrom und im Bereich niedrigen Druckes (Hochvakuum) ein hoher Emissi-
onsstrom benutzt. Die Emissionsstrom-Umschaltung geschieht bei abnehmendem Druck bei etwa
7,2 × 10
der Transmitter kurzzeitig (< 2 s) von der spezifizierten Genauigkeit abweichen.
(Degas 2.5V)
Abb. 2:
F
IC Ionenauffänger (Kollektor)
3.1.5 Pirani-Messsystem
Die Wärmeleitfähigkeit von Gasen ist innerhalb gewisser Grenzen druckabhängig. Diese physikalische
Erscheinung wird im Wärmeleitungsvakuummeter nach Pirani zur Druckmessung ausgenutzt. Als
Messschaltung dient eine selbstabgleichende Brückenschaltung. Das eigentliche Messelement ist ein
dünner Wolframdraht. Mit einer geeigneten Regelschaltung wird der Widerstand des Drahtes und damit
seine Temperatur konstant gehalten. Die dem Draht zugeführte elektrische Leistung ist ein Maß für die
durch Wärmeleitung im Gas abgeführte Leistung und damit für den Gasdruck. Die Brückenspannung U
ist ein Maß für den Gasdruck und wird elektronisch weiterverarbeitet (Linearisierung, Digitalisierung).
Transmitter
Abb. 3:
U
B
-10
-2
bis 10
hPa sinnvoll abgedeckt werden kann, wird im Bereich hohen Druckes (Feinva-
-6
hPa und bei zunehmendem Druck bei etwa 3,2 × 10
F
(Degas 250V)
Aufbau des Bayard-Alpert-Messsystems
Filament (Heißkathode)
U
B
+
Grundprinzip der selbstabgleichenden Brückenschaltung
Brückenspannung
IC
EC
F
EC
Elektronenauffänger (Anodengitter)
–
Produktbeschreibung
-5
hPa. Während des Umschaltens kann
EC
IC
B
17/52
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