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Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten; Tab. 11: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten - Pfeiffer Vacuum PTR 91 Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter
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Technische Daten und Abmessungen

15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 11:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 12:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, N
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit (N
Wiederholbarkeit (N
Tab. 13:
Parameter
Ausgangssignal (Messsignal)
Statussignal Digitalausgang
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz (minimale Last)
3)
46/52
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
Wert
)
1 × 10
2
10 000 hPa, beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen < 55 °C
> 13 000 hPa
Pirani/Kaltkathode
)
ca. ±30 % im Bereich 1 × 10
2
ca. ±50 % im Bereich 100 – 1000 hPa
)
ca. ±5 % im Bereich 1 × 10
2
Mess- und Druckwerte
abhängig von der Versorgungsspannung
bar
Pa
1 · 10
-3
100
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1000
-3
133,32
1,33 · 10
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
-9
bis 1000 hPa
-8
-8
bis 100 hPa
Spannungsbereich
Messbereich
Fehlersignal
Beziehung Spannung-Druck
Belastbarkeit
Hochspannung EIN
Hochspannung AUS
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
bis 100 hPa
Wert
ca. 0 V bis ca. +10,5 V
+1,397 bis +8,6 V DC
+9,5 bis +10,5 V
logarithmisch, Steigung 0,6 V /
Dekade
100 mA
+14,5 bis +30 V (DC)
0 V (DC)
2 × 4,7 Ω, kurzschlussfest
≥ 10 kΩ, kurzschlussfest
-3
atm cm
3
/s
0,987
9,87
-2
1,67 · 10
1,32
1
3)

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