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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum PKR 261
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum PKR 261
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original PKR 261 Pirani/Kaltkathoden-Transmitter...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Anforderungen an den Betreiber Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Anforderungen an den Bediener Transport und Lagerung Produktbeschreibung Produkt identifizieren Lieferumfang Funktion Installation... - Seite 4 Inhaltsverzeichnis Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Bestellinformation 13.1 Teile bestellen 13.2 Ersatzteile 13.3 Zubehör Technische Daten und Abmessungen Anhang 15.1 Druckeinheiten 15.2 Gasdurchsätze ETL Listed Konformitätserklärung 4/54...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Varianten Tab. 3: Verwendete Abkürzungen Tab. 4: Betriebsarten Tab. 5: Konstanten Tab. 6: Umrechnungstabelle Tab. 7: Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10 hPa Tab. 8: Störungen Tab. 9: Mess- und Druckwerte Tab. 10: Elektrische Daten Tab.
- Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Messkonfiguration Abb. 2: Vakuumanschluss herstellen Abb. 3: Magneteinheit entfernen/montieren (Empfehlung für CF-F) Abb. 4: Anschlussplan Abb. 5: Messkabel und Hirschmann-Kabeldose Abb. 6: Leuchtdiode (LED) Abb. 7: Beziehung: Messsignal und Druck Abb. 8: Druckbereich > 10 hPa, reiner Pirani-Betrieb Abb.
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Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Abbildungen entsprechen dem Gerät mit DN 25 ISO-KF Vakuumanschluss, gelten sinngemäß aber auch für die anderen Vakuumanschlüsse. Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu (Abmessungen in mm). 1.2 Zielgruppe Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt ●... -
Seite 8: Konventionen
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild D-35614 Asslar Das Typenschild befindet sich an der Mod. PKR 261 PT R26 xxx Oberseite des Gerätes. 3103457 xxxxxxxxx Made in Liechtenstein 2019/04 Input 15...30 V DC 2 W... -
Seite 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Erklärung Atmosphäre Hochvakuum kpl. komplett Normalnull Sekunde Schlüsselweite Tab. 3: Verwendete Abkürzungen 1.4 Marken ● FullRange ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. 9/54... -
Seite 10: Sicherheit
Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken beim Transport HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. - Seite 11 Das Produkt hat ein Magnetfeld, das elektronische Geräte (z. B. Herzschrittmacher) in ihrer Funktion stört oder beeinträchtigt. ► Halten Sie die angegebenen Abstände des Herstellers des Herzschrittmachers ein. – Pfeiffer Vacuum empfiehlt einen Sicherheitsabstand von mindestens 130 mm zwischen Herzschrittmacher und Produkt. ► Vermeiden Sie den Einfluss starker Magnetfelder mit Hilfe von Magnetfeldabschirmungen.
- Seite 12 ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung.
- Seite 13 ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Sehen Sie spezielle Maßnahmen vor, falls Tropfwasser zu befürchten ist. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center. HINWEIS Beschädigung durch ungeeignete Reinigungsmittel Ungeeignete Reinigungsmittel beschädigen das Produkt.
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Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen
Sie dürfen den Transmitter nicht für die Messung von leicht entzündbaren oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B. Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwenden. Sie können den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder mit ei- nem kundeneigenen Auswertegerät betreiben. -
Seite 15: Verantwortung Und Gewährleistung
6. Stellen Sie die Personenqualifikation sicher. 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Seite 16: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
4. Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein. 5. Beachten Sie die technischen Daten. 6. Wenden Sie sich an das Pfeiffer Vacuum Service Center falls Ihre Fragen zu Betrieb oder War- tung des Produktes in dieser Betriebsanleitung nicht beantwortet werden. – Informationen finden Sie im Pfeiffer Vacuum Servicebereich. -
Seite 17: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäße Lagerung Unsachgemäße Lagerung führt zu Beschädigung des Produktes. -
Seite 18: Produktbeschreibung
4 Produktbeschreibung 4.1 Produkt identifizieren Sie benötigen alle Daten des Typenschildes zur sicheren Identifizierung des Produktes bei der Kommu- nikation mit Pfeiffer Vacuum. Daten des Typenschildes notieren 1. Lesen Sie die Daten des Typenschildes am Produkt ab. 2. Notieren Sie die abgelesenen Daten. -
Seite 19: Installation
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... -
Seite 20: Magneteinheit Entfernen/Montieren
Installation Abb. 2: Vakuumanschluss herstellen 1 Schutzkappe Spannelement Vorgehen 1. Stellen Sie sicher, dass die zulässige Betriebstemperatur des Transmitters nicht überschritten wird. 2. Beachten Sie den Platzbedarf für den elektrischen Anschluss (z. B. zulässige Biegeradien von Kabeln). 3. Montieren Sie den Transmitter möglichst vibrationsfrei. –... -
Seite 21: Elektrischen Anschluss Herstellen
► Schließen Sie das Produkt nur an Geräte an, die folgenden Kriterien entsprechen: ● Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ● Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 ► Sichern Sie die Leitung zum Produkt ab. – Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 21/54... -
Seite 22: Abb. 4: Anschlussplan
► Verbinden Sie die Versorgungserde (Pin 5) in jedem Fall beim Versorgungsgerät mit Erde. ► Verbinden Sie die Abschirmung (Pin 6) in jedem Fall beim Versorgungsgerät mit Erde. Wenn Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät betreiben wol- len, benötigen Sie ein entsprechendes Messkabel aus dem ActiveLine-Zubehör. Andernfalls können Sie ein Messkabel auch selbst herstellen. - Seite 23 Installation Messkabel herstellen 1. Beachten Sie für beste Signalqualität die nachfolgenden Schritte, weil Erdschleifen, Potentialun- terschiede oder EMV das Messsignal beeinflussen. – Verwenden Sie ein Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse. – Weitere Informationen zu Messkabeltyp und Leiterquerschnitten finden Sie in den Techni- schen Daten.
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Seite 24: Betrieb
Betrieb 6 Betrieb Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung steht am elektrischen Anschluss (Pins 2 und 3) das Messsignal zur Verfügung. Transmitter betreiben 1. Beachten Sie die Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten. 2. Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck. 3. Empfehlung: Lassen Sie den Transmitter unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschal- tet. -
Seite 25: Beziehung: Messsignal Und Druck
Betrieb 6.2 Beziehung: Messsignal und Druck 1E+04 torr 1E+02 1E+00 1E–02 1E–04 1E–06 1E–08 0.0 0.5 10.5 U [V] Abb. 7: Beziehung: Messsignal und Druck p Druck Messsignal [V] Berechnung Gültigkeitsbereich: ● 5 × 10 hPa < p < 1000 hPa ●... -
Seite 26: Gasartabhängigkeit
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für Stickstoff (N ), Sauerstoff (O ), trockene Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO). Wenn Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck- Mess- und Steuergerät (TPG) betreiben, können Sie einen Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeig- ten Messwertes eingeben. -
Seite 27: Abb. 9: Druckbereich Von 10 Bis 0,1 Hpa
Betrieb Druckbereich von 10 bis 0,1 hPa p [hPa] –1 –2 –3 –4 –5 –6 –6 –5 –4 –3 –2 –1 4 6 8 [hPa] Abb. 9: Druckbereich von 10 bis 0,1 hPa Kalibrierfaktoren Im Druckbereich < 10 hPa ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft können Sie den Druck durch eine einfache Umrechnung ermitteln: Berechnung: P = C ×... -
Seite 28: Zündverzögerung
Betrieb Gasart Kalibrierfaktor (C) Neon (Ne) Argon (Ar) Krypton (Kr) Xenon (Xe) Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte. Tab. 7: Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10 6.4 Zündverzögerung Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Diese Zündverzögerung nimmt mit tieferen Drücken zu und dauert bei sauberen, entgasten Geräten typischerweise: ●... - Seite 29 Betrieb Verschmutzungsgrad beeinflussen Sie können das Maß der Verschmutzung in begrenztem Rahmen beeinflussen. Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten. 1. Ergreifen Sie geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in gerader Li- nie ausbreitende Teilchen.
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Seite 30: Ausbau
Ausbau 7 Ausbau GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►... - Seite 31 Ausbau 5. Empfehlung: Entfernen Sie vorübergehend die Magneteinheit des Transmitters, falls die Demon- tage nur ohne Magneteinheit möglich ist. – Dies erleichtert die Demontage der CF-Flanschverbindung. 6. Demontieren Sie den Transmitter vom Vakuumsystem. 7. Setzen Sie die Schutzkappe auf den Anschlussflansch. 31/54...
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Seite 32: Wartung
Folgendes führt zum Verlust der Gewährleistung: ● Beschädigung oder Entfernen eines Verschlusssiegels ● Öffnen des Gerätes während der Gewährleistungszeit Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen. -
Seite 33: Abb. 11: Transmitter Abgleichen (Hv)
Wartung Abb. 11: Transmitter abgleichen (HV) 1 Taster Typenschild (drehbar) 2 Potentiometer "HV" HV-Abgleich durchführen Benötigtes Werkzeug ● Schraubendreher (1,5 mm) ● Taststift (max. Ø 3 mm) Benötigte Hilfsmittel ● Steuergerät oder Voltmeter 1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb, möglichst in der gleichen Lage wie später im Betrieb. 2. -
Seite 34: Transmitter Zerlegen
Wartung Benötigte Hilfsmittel ● Steuergerät oder Voltmeter 1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb, möglichst in der gleichen Lage wie später im Betrieb. 2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten lang bei Atmosphärendruck. 3. Drehen Sie das Typenschild im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag. 4. -
Seite 35: Komponenten Reinigen
► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung. - Seite 36 ► Verwenden Sie keine Lösungsmittel, da diese die Oberflächen angreifen. ► Verwenden Sie keine aggressiven oder scheuernden Reinigungsmittel. Messkammer reinigen Pfeiffer Vacuum empfiehlt, bei Reinigung der Messkammer das Pirani-Messelement zu er- setzen. Pirani-Messelement ersetzen Pfeiffer Vacuum empfiehlt, ein stark verschmutztes oder defektes Pirani-Messelement zu ersetzen.
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Seite 37: Transmitter Montieren
Wartung 4. Spülen Sie die Anode mit Industriealkohol. 5. Lassen Sie die Anode gut trocknen. 6. Erneuern Sie die Zündhilfe. 7. Montieren Sie den Transmitter wieder. Pirani-Messelement reinigen Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Industriealkohol Benötigte Hilfsmittel ● Fön (< 150 °C) Benötigte Ersatzteile ●... -
Seite 38: Abb. 14: Montagewerkzeug Für Die Zündhilfe
Wartung Abb. 14: Montagewerkzeug für die Zündhilfe 1 Anode Montagewerkzeug 2 Zündhilfe Zündhilfe erneuern Benötigtes Werkzeug ● Montagewerkzeug für die Zündhilfe Benötigtes Ersatzteil ● Zündhilfe 1. Legen Sie die neue Zündhilfe in das Montagewerkzeug ein. 2. Drücken Sie die Anode (gereinigt oder neu) sorgfältig zentral und parallel zur Werkzeugachse in die Zündhilfe ein. - Seite 39 Wartung 11. Drücken Sie die Messkammer mit der Anode sorgfältig zentral und parallel zur Werkzeugachse bis zum Anschlag in das Montagewerkzeug ein. – Dadurch positionieren Sie die Zündhilfe. 12. Halten Sie die Messkammer mit dem Flansch nach unten und blasen Sie Partikel in der Mess- kammer mit trockenem Stickstoff aus.
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Seite 40: Störungen
Störungen 9 Störungen Gewährleistung Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Zündhilfe), fallen nicht unter die Gewährleistung. Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal dauernd < 0,5 V Versorgung fehlt Versorgung einschalten "Error low" Messsignal dauernd > 9,5 V Pirani-Messelement defekt Pirani-Messelement erset- (Filamentbruch) -
Seite 41: Versand
► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Produkt sicher versenden Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. 1. Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein. 2. Beachten Sie die Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen. -
Seite 42: Entsorgung
Entsorgung 11 Entsorgung WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar- beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be- seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden. ►... -
Seite 43: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 44 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Seite 45: Bestellinformation
Pos. 4 (3×), Pos. 5 (1×), Pos. 6 (1×) keine Verwendung bei diesem Transmitter: 1× Scheibe Reparatursatz, PKR 261, komplett BN 846 242 -T Pos. 2 (1×), Pos. 3 (1×), Pos. 4 (3×), Pos. 5 (1×), Pos. 6 (1×), Pos. 7 (1×), Pos. 8 (1×), Pos. -
Seite 46: Zubehör
Austauschtransmitter (DN 40 ISO-KF) PT R26 252 -A Austauschtransmitter (DN 40 CF-F) 13.3 Zubehör Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu ActiveLine-Zubehör finden Sie online. Beschreibung... -
Seite 47: Technische Daten Und Abmessungen
75 m (0,25 mm / Leiter) max. 100 m (0,34 mm / Leiter) max. 300 m (1,0 mm / Leiter) Sie müssen die minimale Spannung des Versorgungsgerätes proportional zur Leitungslänge erhöhen. Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 47/54... -
Seite 48: Tab. 10: Elektrische Daten
Technische Daten und Abmessungen Parameter Wert Erdkonzept (siehe Kapitel “Elektrischen Anschluss herstellen”, Seite 21) Vakuumanschluss und Messer- über 10 kΩ verbunden (max. Span- nungsdifferenz bezüglich Sicherheit ± 50 V, bezüglich Genauigkeit ± 10 V) Versorgungserde und Signaler- getrennt geführt; bei großen Leitungs- längen (≥... -
Seite 49: Abb. 16: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 122.5 15.5 VACUUM Compact Full Range Gauge VACUUM 18.5 15.5 VACUUM Compact Full Range Gauge VACUUM 128.5 Abb. 16: Abmessungen Abmessungen in mm. 49/54... -
Seite 50: Anhang
Anhang 15 Anhang 15.1 Druckeinheiten Einheit mbar Torr / mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr / mm Hg 1,33 133,32 1,33... -
Seite 51: Etl Listed
ETL LISTED The product PKR 261 - conforms to the UL standard UL 61010-1. - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1. 3103457... -
Seite 52: Konformitätserklärung
Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folgender EU-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Pirani/Kaltkathoden-Transmitter PKR 261 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07... - Seite 53 53/54...