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Austauschverfahren Für Prozessfenster (Am Prozess-Isolierflansch) - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

Spektrometer mit durchstimmbarem diodenlaser
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(6) Lösen Sie die vier M4-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters im
Ausrichtflansch und nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
(7) Installieren Sie ein neues Prozessfenster. Ersetzen Sie auch den O-Ring.
Die Position des O-Rings ist Abbildung 10.4 zu entnehmen. Drücken Sie den O-Ring fest in
die dafür vorgesehene Nut hinein.
Ausrichtflansch
Prozessfenster
O-Ring
Inbusschraube
Abbildung 10.4 Ersetzen des Prozessfensters und des O-Rings eines Ausrichtflansches
(8) Achten Sie genau auf die korrekte Ausrichtung des Prozessfensters. Installieren Sie es in
der gleichen Ausrichtung wie zuvor.
Ziehen Sie die Schrauben gleichmäßig fest.
(9) Nach Wiedereinbau des Prozessfensters ist der TDLS8000 ebenfalls wieder zu installieren.
10.4.3
Austauschverfahren für Prozessfenster (am Prozess-
Isolierflansch)
Dieser Abschnitt beschreibt das Austauschverfahren für das am Prozess-Isolationsflansch
angebrachte Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett
gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre
entweichen kann. Das Ausbauen eines Prozessfensters bei laufendem Prozess ist extrem
gefährlich!
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den TDLS8000 vom Prozess.
(Trennen Sie den TDLS8000 gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie
beispielsweise ein Prozessabsperrventil nutzen.)
(5) Bauen Sie den Ausrichtflansch aus.
<10. Fehlersuche>
IM 11Y01D01-01D-E
5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00
10-9

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