YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung Seite 254

VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Bauen Sie den TDLS8000 aus der Durchflusszelle aus.
(Stellen Sie sicher, dass die Durchflusszelle komplett vom Prozess isoliert ist, z. B. durch ein
Prozessabsperrventil.)
(5) Das Verfahren zum Austausch des am Ausrichtflansch montierten Prozessfensters
entspricht dem Verfahren in 10.4.2.
(6) Zum Entfernen des direkt an der Durchflusszelle montierten Prozessfensters muss
zunächst der Ausrichtflansch von der Durchflusszelle abgebaut werden.
(7) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist, und bauen
Sie es aus.
(8) Lösen Sie die sechs M5-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters der
Durchflusszelle und nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
Lassen Sie das Prozessfenster nicht fallen. Die Inbusschrauben oder die Unterlegscheiben
können sehr leicht herausfallen. Bitte verlieren Sie keine der Schrauben.
Für Einzelheiten zur Montage und Demontage des Prozessfensters siehe Abbildung 10.6.
Inbusschraube
Prozessfenster
O-Ring
für Durchflusszelle
Unterlegscheibe
Abbildung 10.6 Ersetzen des Prozessfensters und des O-Rings einer Durchflusszelle
(9) Installieren Sie ein neues Prozessfenster. Ersetzen Sie auch den O-Ring.
Die Position des O-Rings ist Abbildung 10.7 zu entnehmen.
<10. Fehlersuche>
Durchflusszelle
IM 11Y01D01-01D-E
5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00
10-11