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Bereichskalibrierung; Vorbereitung - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

Spektrometer mit durchstimmbarem diodenlaser
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9.6

Bereichskalibrierung

Die Bereichskalibrierung ist eine Funktion, bei der das Berechnungsergebnis der Konzentration
so abgeglichen wird, dass es mit der Messung der Konzentration eines Gases bekannter
Konzentration, das sich in der Kalibrierzelle befindet, übereinstimmt.
Beachten Sie folgende Punkte bei der korrekten Durchführung einer Bereichskalibrierung.
• Verwenden Sie als Bereichskalibriergas ein Gas mit genauer bekannter Konzentration.
• Der Bereich, der vom Laserstrahl durchquert wird, muss ausreichend mit
Bereichskalibriergas gefüllt sein (spülen Sie mit Kalibriergas und überprüfen Sie, ob die
Messung stabil bleibt).
• Im Bereich, den der Laserstrahl durchquert, ist keinerlei optische Störung vorhanden.
Bei vorhandenen optischen Störungen kann keine korrekte Bereichskalibrierung
durchgeführt werden (z. B. wenn die Oberfläche des Prozessfensters beschlagen ist). Dies
kann sich negativ auf die Konzentrationsmessungen des Messgases auswirken.
• In der Umgebung, in der die Nullkalibrierung durchgeführt wird, befinden sich keinerlei
elektrische Störquellen.
Bei vorhandenen elektrischen Störquellen kann keine korrekte Bereichskalibrierung
durchgeführt werden. Dies kann sich negativ auf die Konzentrationsmessungen des
Messgases auswirken.
HINWEIS
• Wenn die Spülgasleitung leckt, können keine korrekten Ergebnisse erzielt werden.
• Warten Sie mindestens 1 Stunde nach Einschalten der Spannungsversorgung, bevor Sie
die Kalibrierung durchführen.
• Bei nicht stabiler Messung der Bereichskalibrierung können keine korrekten
Messergebnisse erzielt werden.
9.6.1

Vorbereitung

Befolgen Sie die Anweisungen in „9.3
Verrohrungsverfahren.
Null- und Bereichskalibriergas
l
Dies ist eine Verrohrung, die zusätzlich zur Nullkalibrierung die Bereichskalibrierung ermöglicht.
Null- und Bereichskalibrierung können nacheinander ausgeführt werden.
<9. Inspektion und Wartung>
Montage auf eine Kalibrierzelle". Es gibt zwei
IM 11Y01D01-01D-E
5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00
9-31

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