Prüfen Und Korrigieren Der Laser-Ausgangsleistung (Verschlechterung/Verlust); Austausch Des Prozessfensters - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

Kann der Übertragungsgrad auch durch Entfernen der Ablagerungen nicht verbessert werden,
gibt es ggf. noch andere Problemfaktoren.
(4) Prüfen und Korrigieren der Laser-Ausgangsleistung (Verschlechterung/
Verlust)
Ist das Übertragungssignal sehr niedrig oder Null auch nach Durchführung der in (1), (2) und (3)
beschriebenen Maßnahmen, kann die Laser-Ausgangsleistung merklich nachgelassen haben
oder der Laser hat eine Funktionsstörung.
Zur Prüfung der Laser-Ausgangsleistung führen Sie folgende Schritte durch:
(a) Schalten Sie die Spannungsversorgung des TDLS8000 aus.
(b) Bauen Sie LU und SCU aus dem Prozess aus.
VORSICHT
Stellen Sie vor dem Ausbauen aus dem Prozess sicher, dass der TDLS8000 ausgeschaltet ist.
Ist dies nicht der Fall, können Ihre Augen durch das austretende Laserlicht Schaden nehmen.
(c) Verbinden Sie die LU und SCU direkt wie in Abbildung 10.3 gezeigt.
Achten Sie dabei darauf, dass der Laserstrahl nicht blockiert wird.
Lasereinheit
Abbildung 10.3 direkte Verbindung der LU und SCU
(d) Schalten Sie die Spannungsversorgung ein und prüfen Sie die Übertragung.
Wird die Übertragung als Ergebnis der direkten Verbindung von LU und SCU besser,
ändern Sie den Winkel, in dem die Komponenten verbunden sind, geringfügig, um
festzustellen, ob sich eine weitere Verbesserung des Übertragungsgrads erzielen lässt.
Liegt die Übertragung auch nach Justierung des Winkels bei Null, ist die Laserdiode defekt.
Bitte wenden Sie sich an Yokogawa.
10.4

Austausch des Prozessfensters

Lassen sich Ablagerungen auf dem Prozessfenster durch eine Reinigung gemäß Abschnitt 9.1.2
nicht entfernen oder ist die Oberfläche durch Kontakt mit korrosiven Gasen wie Fluorwasserstoff
angegriffen, muss das Prozessfenster ausgetauscht werden. Zum Austausch befolgen Sie
bitte die in Abschnitten 10.3.2 und 10.3.3 beschriebenen Verfahren. Beim Austausch eines
Prozessfensters ist auch immer der O-Ring zu wechseln.
<10. Fehlersuche>
Sensor-Regelungs-Einheit
IM 11Y01D01-01D-E
10-7
5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00