Offline-Validierung - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

(9) Einschalten der Spannungsversorgung
Schalten Sie die Spannungsversorgung ein. Vergewissern Sie sich, dass der TDLS8000
normal startet.
(10) Ausrichtung der optischen Achse
Beachten Sie „3.3 Ausrichtung der optischen Achse" und richten Sie die optische Achse
aus.
(11) Überprüfung der Einstellungen
Stellen Sie die Einstellungen auf die Werte zurück, die Sie sich beim Ausbau des TDLS8000
notiert haben, sofern erforderlich.
a) Optische Prozesspfadlänge
b) Prozessdruck
c) Prozesstemperatur
d) Übertragungsgrad
9.4

Offline-Validierung

Das Grundkonzept der Offline-Validierung besteht darin, die Zuverlässigkeit der
Gaskonzentrationsmessungen zu prüfen. Beim Validierverfahren wird der TDLS8000 von der
Prozessmessung entfernt und an eine Kalibrier- oder Durchflusszelle montiert, durch die ein
bekanntes Prüfgas geleitet wird.
Vor der Durchführung der Validierung sind die folgenden Informationen in den TDLS8000
einzugeben: Druck des eingeleiteten Prüfgases.
• Druck des Spülprüfgases
• Temperatur des Spülprüfgases
• Länge der mit Prüfgas zu spülenden Zelle
• Spülprüfgas-Konzentration
Konzentration des eingeleiteten Prüfgases.
• Geben Sie die bekannten Validierungsparameter ein.
• Spülen Sie die Kalibrierzelle oder Durchflusszelle mit dem Prüfgas mit bekannter
Konzentration.
=> Die gemessene Konzentration des Prüfgases wird im TDLS8000 aufgezeichnet.
=> Aus den bekannten Parametern wird der zu erwartende Wert für das Prüfgas berechnet.
=> Der zu erwartende Wert und tatsächlich gemessene Wert werden verglichen und
validiert („pass" oder „fail"; d. h. erfolgreich oder fehlgeschlagen).
HINWEIS
Bei der Validierung handelt es sich um ein Verfahren zur Prüfung, ob der TDLS8000
ordnungsgemäß arbeitet. Falls beim Validiervorgang ein Lesefehler auftritt, führen Sie eine
Kalibrierung durch.
LU und SCU, die im normalen Betrieb In-situ direkt im Prozess eingebaut sind, werden aus dem
Prozess entfernt und auf eine Kalibrierzelle montiert, mit der die Offline-Kalibrierung durchgeführt
wird. Sind LU und SCU an einer Durchflusszelle oder in einer Bypass-Installation montiert, kann
die Offline-Validierung ohne Demontage von LU und SCU erfolgen, indem vom Prozessgas-
Probenstrom auf das Prüfgas umgeschaltet wird.
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D01-01D-E
9-22
5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00