Ersatzteile (Prozessfenster); Austauschverfahren Für Prozessfenster (Am Ausrichtflansch) - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

10.4.1

Ersatzteile (Prozessfenster)

Für den Austausch von Prozessfenstern sind die in Tabelle 10.1 aufgeführten Komponenten
bereit zu halten.
Tabelle 10.1
Nr. Teile-
nummer
1 K9772RA Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -X1, -X2)
2 K9772RB Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -H1)
3 K9772RC Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -A1)
4 K9772RD Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -H3)
5 K9772RE Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für-C3, -C4)
6 K9772TH O-Ring
7 K9775EA Saphirglasfenster
8 K9775EB Saphirglasfenster
9 K9775EC Saphirglasfenster
10 K9775ED Saphirglasfenster
11 K9775EE Saphirglasfenster
12 K9775GE O-Ring
*:
10.4.2 Austauschverfahren für Prozessfenster (am
Ausrichtflansch)
Dieser Abschnitt beschreibt das Austauschverfahren für das am Ausrichtflansch angebrachte
Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett
gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre
entweichen kann. Das Ausbauen eines Prozessfensters bei laufendem Prozess ist extrem
gefährlich!
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den TDLS8000 vom Prozess.
(Trennen Sie den TDLS8000 gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie
beispielsweise ein Prozessabsperrventil nutzen.)
(5) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist und bauen
Sie es aus.
Ersatzteile
Teilebezeichnung
Für Prozessfenster des Ausrichtflansches
Für Prozess-Isolationsflansche oder Durchflusszellen (für
-X1, -X2)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für
-H1)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für
-A1)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für
-H3)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für
-C3, -C4)
Für Prozessfenster des Prozess-Isolationsflansches oder
der Durchflusszelle
Für Prozessfenster der Durchflusszelle
<10. Fehlersuche>
Zweck*
IM 11Y01D01-01D-E 5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00
10-8
Anzahl
1
oder
2