Verrohrung; Komponenten Für Die Verrohrung - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

<3. Installation, Verkabelung, Ausrichtung der optischen Achse und Verrohrung
iii. Justieren Sie die horizontalen Ausrichtmuttern der LU entgegengesetzt der
Richtung von ii, bis der Übertragungsgrad nahezu null beträgt (bis der Laserstrahl
die SCU-Linse fast verfehlt) (Abbildung 3.19(d)). Bitte zählen Sie beim Drehen der
Ausrichtmutter, wie viele Achteldrehungen erforderlich sind, um den Laserstrahl von
der oberen in die untere Position zu bringen und notieren Sie die Anzahl.
iv. Prüfen Sie, ob die Anzahl der Drehungen der Ausrichtmuttern bei ii und iii ungefähr
gleich ist. Drehen Sie die Ausrichtmuttern um die halbe Anzahl der Achteldrehungen
zurück, um den Laserstrahl mittig zu platzieren (siehe Abb. 3.19, Position (f)). Ziehen
Sie dann die Muttern sicher fest.
Abbildung 3.20 Konzeptdarstellung der finalen horizontalen Ausrichtung
(6) Letzte Grobeinstellung auf der Seite der Sensor-Regelungseinheit (SCU)
Führen Sie eine finale vertikale und horizontale Justierung durch, um einen maximalen
Übertragungsgrad zu erzielen. Abschließende Feinjustierung der Lasereinheit (LU). Nach
Abschluss der finalen Justierung sind die Ausrichtmuttern an der SCU-Seite sicher und fest
anzuziehen.
(7) Überprüfung des festen Sitzes der Ausrichtmuttern
Überprüfen Sie, ob die Ausrichtmuttern auf LU- und SCU-Seite tatsächlich sicher und fest
sitzen.
(8) Kalibrierung der Übertragung
Nach Abschluss der obigen Einstellungen führen Sie bitte eine Kalibrierung des
Übertragungsgrads durch, indem Sie den oben erzielten maximalen Übertragungsgrad als
100 % nehmen (Siehe „9.1.1
3.4

Verrohrung

Nach Abschluss der Verkabelung und der Ausrichtung der optischen Achse sind die Rohre für
das Spülgas anzuschließen.
Nach erfolgter Verrohrung wird empfohlen, den Analysator bis zum Start des Betriebs mit
Spülgas zu versorgen, um den Bereich des Prozessfensters des TDLS8000 sauber zu halten.
VORSICHT
Um die Staub- und Wasserdichtigkeit des TDLS8000 aufrecht zu erhalten, müssen alle Ports mit
Kabeln, Rohren oder Blindstopfen verschlossen sein.
Bezüglich der Rohrgewinde siehe Kennzeichnungen an den Ports. Ein Beispiel finden Sie in
Abb. 3.10.
n Komponenten für die Verrohrung
Überprüfen Sie anhand der folgenden Tabelle, ob alle für die Verrohrung erforderlichen
Komponenten bereitstehen.
SCU-Linse
(c)
(e)
(f)
(d)
(d')
Kalibrierung des Übertragungsgrads").
IM 11Y01D01-01D-E 5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00
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