YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung Seite 197

Wenn die Oberfläche des Prozessfensters verschmutzt ist, entfernen Sie das Fenster und
reinigen Sie es anhand des folgenden Verfahrens.
VORSICHT
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett
gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre
entweichen kann.
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie den TDLS8000 aus.
(2) Entfernen den TDLS8000 vom Prozess.
(Trennen Sie den TDLS8000 gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie
beispielsweise ein Prozessabsperrventil nutzen.)
(3) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist, und bauen
Sie es aus. Prozessfenster befinden sich in Ausrichtflanschen, Prozess-Isolationsflanschen,
Durchflusszellen etc.
(4) Lösen Sie die vier M4-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters im
Ausrichtflansch und nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
Für Einzelheiten zur Demontage und Montage von Prozessfenstern siehe Abbildungen 9.1
bis 9.3.
(5) Blasen Sie zuerst alle Feststoffanteile vom Prozessfenster mit sauberer trockener
Instrumentenluft oder Stickstoff ab.
(6) Verwenden Sie warme milde Seifenlösung, wischen Sie das Fenster mit einem weichen
Tuch vorsichtig ab und achten Sie sorgfältig darauf, es nicht zu zerkratzen. Falls immer
noch Verschmutzungen vorhanden sind, versuchen Sie, diese mit Alkohol (z.B. Isopropyl-
Alkohol) zu entfernen.
(7) Blasen Sie die Fensteroberfläche mit sauberer trockener Instrumentenluft oder Stickstoff
trocken.
(8) Überprüfen Sie die gesamte Fensteroberfläche sorgfältig aus verschiedenen Blickwinkeln,
um sicherzustellen, dass sie vollständig gereinigt und das Fenster wieder einsatzbereit ist.
HINWEIS
Ist die Reinigung des Fensters erfolglos, sollte eine neue Fensterbaugruppe eingesetzt werden.
Scheint die Fensteroberfläche angeätzt zu sein, ist sie höchstwahrscheinlich mit HF odereinem
anderen korrosiven Gas in Berührung gekommen. Ersetzen Sie das Fenster auch in diesem Fall
durch ein neues.
(8) Bauen Sie das gereinigte Fenster (bzw. ein neues) wieder ein.
Achten Sie genau auf die korrekte Ausrichtung des Prozessfensters. Installieren Sie es in
der gleichen Ausrichtung wie zuvor.
Ziehen Sie die Schrauben gleichmäßig fest.
(9) Nach Wiedereinbau des Prozessfensters ist der TDLS8000 ebenfalls wieder zu installieren.
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D01-01D-E
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5. Ausgabe: 15. Januar 2019-00