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1.2
Bezeichnungen und Funktionen der
Komponenten
Das TDLS8200 besteht aus dem Analysator und einer Lanze.
1.2.1
Analysator TDLS8200
Typenschild
Externe Erdeklemme
*1:
Die Art des Knopfs variiert je nach Spezifikation.
*2:
Schließen Sie den Deckel fest und verriegeln Sie ihn mit der Sicherungsschraube. Vor dem Öffnen des Deckels ist die
Sicherungsschraube zu lösen.
*3:
Der Auslass befindet sich auf der anderen Seite und ist nicht in der Abbildung dargestellt.
HINWEIS
Die tatsächliche Position jedes Teils kann je nach Ausrichtung der angeschlossenen Lanze von der Abbildung abweichen.
HINWEIS
Achten Sie darauf, die Sicherungsschraube nicht zu verlieren, wenn Sie diese lösen.
Optischer Spülanschluss
Sicherungsschraube *2
Validiergaseinlass *3
Drehknopf *1 zur Einstellung der horizontalen optischen Achse
Drehknopf *1 zur Einstellung der
vertikalen optischen Achse
<1. Übersicht>
Prozess-Spüleinlass
Reflektor-Spüleinlass
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
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