INFICON BPG402-S Kurzanleitung

Funktion
Die Messröhre hat über den ganzen Messbereich eine konti-
nuierliche Kennlinie. Das Messsignal ist über den gesamten
Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig. Eingesetzt
Bayard-Alpert Pirani Gauge
wird eine Kombination aus einem Heißkatoden-Ionisations-
Messsystem nach Bayard-Alpert (für p < 2.0×10
Bayard-Alpert Pirani Messröhre mit Doppelkatode einem Pirani-Messsystem (für p > 5.5×10
BPG402-S Im überlappenden Bereich 2.0×10
gemischtes Signal beider Messsysteme ausgegeben. Die
BPG402-SD
Heißkatode (Filament) wird (zum Schutz vor Durchbrennen)
erst unterhalb der Schaltschwelle von 2.4×10
BPG402-SE
Pirani-Messsystem eingeschaltet. Ausgeschaltet wird sie,
BPG402-SL
wenn der Druck 3.2×10
Sensoren sind mit zwei Filamenten ausgerüstet. Diese wer-
BPG402-SP
den von der Messröhrenelektronik überwacht. Bei Filament-
bruch schaltet die Messröhre automatisch auf das zweite
Filament um und setzt den Messbetrieb fort. Der Filament-
Status wird auf der Messröhre angezeigt und kann über die
Schnittstellen ausgelesen werden.
Die Messröhre stellt eine einstellbare Schaltfunktion zur Ver-
fügung (ausführliche Beschreibung →  [1]).
Sicherheit
Kurzanleitung
inkl. EU-Konformitätserklärung
Verwendete Symbole
tima46d1-c (2015-06)
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.
Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschil-
des erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt-
schäden.
INFICON AG, LI-9496 Balzers
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeach-
Model:
ten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
PN:
führen.
SN:
V W
Personalqualifikation
Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnum-
Fachpersonal
mern:
BPG402-S (ohne Anzeige, 1 Schaltfunktion)
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeig-
353-570 (DN 25 ISO-KF)
nete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen
353-571 (DN 40 CF-R)
Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entspre-
BPG402-S (mit Anzeige, 1 Schaltfunktion)
chend geschult wurden.
353-572 (DN 25 ISO-KF)
353-573 (DN 40 CF-R)
BPG402-SL (ohne Anzeige, 1 Schaltfunktion)
Grundlegende Sicherheitsvermerke
353-578 (DN 40 CF-R, langes Rohr)
• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Pro-
BPG402-SD (mit DeviceNet-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen)
zessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie
die Schutzmaßnahmen ein.
353-576 (DN 25 ISO-KF)
353-577 (DN 40 CF-R)
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werk-
stoffen und Prozessmedien.
BPG402-SE (mit EtherCAT-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen)
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen (z. B. Explosion)
353-590 (DN 25 ISO-KF)
der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Pro-
353-591 (DN 40 CF-R)
dukts.
BPG402-SP
(mit Profibus-Schnittstelle, 2 Schaltfunktionen)
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen
353-574 (DN 25 ISO-KF)
Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zu-
353-575 (DN 40 CF-R)
lässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument an-
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. gegebenen Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der Ausführung
353-572. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Aus- eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
führungen (ausführliche Informationen zu BPG402-SD, kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
BPG402-SE und BPG402-SP →  [1] und [2]). halten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vor-
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
behalten.
weiter.
Alle Maßangaben in mm.
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährlei-
Die Messröhren BPG402-Sx erlauben die Vakuummessung
stung, falls der Betreiber oder Drittpersonen
von Gasen und Gasgemischen im Druckbereich von
-10
5×10 ... 1000 mbar.
• dieses Dokument missachten
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren
• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen
oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidations-
• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen
mittel (z. B: Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen
usw.) vornehmen
verwendet werden.
• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zu-
Die Messröhren können mit den Vacuum Gauge Controllern
gehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
VGC40x/VGC50x oder mit einem kundeneigenen Auswerte-
gerät/Controller betrieben werden.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B.
Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.
-2
mbar) und
-3
mbar).
Technische Daten
-2 -3
... 5.5×10 mbar wird ein
Die technischen Daten der Messröhren BPG402-SD, BPG400-SE
und BPG400-SP weichen in einigen Punkten von denjenigen der
-2
mbar vom
nachfolgend beschriebenen BPG402-S ab (→  [1] und [2]).
-2
mbar übersteigt. Die BPG402-Sx-
Messbereich
(Luft, O , CO, N )
2 2
Genauigkeit
(nach 10 Min. Stabilisierung)
Wiederholbarkeit
(nach 10 Min. Stabilisierung)
Emission
Einschaltdruck
Ausschaltdruck
Emissionsstrom
-6
p ≤7.2×10 mbar
-6
7.2×10 mbar < p
-2
<3.2×10 mbar
Emissionsstrom-
Umschaltung
25 µA  5 mA
5 mA  25 µA
GEFAHR
Filament
Anzahl
Filamentwahl
Einstellzeit des Mess-
WARNUNG
signales nach Filament-
wechsel
Filament-Status
Emission-Control-Modus
Automatisch
Vorsicht
Manuell
Degas
Emissionsstrom
-6
(p <7.2×10 mbar)
Steuereingangssignal
Dauer
Im Degas-Betrieb liefert das BPG402-Sx weiter Messwerte,
jedoch mit größeren Toleranzwerten als bei Normalbetrieb.
Ausgangssignal (Messsignal)
Messbereich
Beziehung Spannung - Druck
Fehlersignal (→  [1])
EEPROM-Fehler
Heißkatodenfehler
Piranifehler
Minimale Lastimpedanz
Messröhrenidentifikation
Schaltfunktion
Einstellbereich
Hysteresis
Kontaktbelastbarkeit
RS232C-Schnittstelle
Übertragungsrate/-format
Parity-Bit
Handshake
Anschlussstecker
Weitere Informationen zur RS232C-Schnittstelle →  [1].
Anzeige (353-572, 353-573)
Darstellung
Maße
Druckeinheiten
Umstellen der Druckeinheit
Speisung
GEFAHR
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Mess-
geräte angeschlossen werden, die den Anfor-
derungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(PELV) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre
ist abzusichern 1)
Versorgungsspannung an der +24 V (dc)
Messröhre Rippel ≤2 V
Stromaufnahme
-10
5×10 ... 1000 mbar ≤0.5 A
Standard
kontinuierlich ≤0.8 A
Degas
≤1.4 A
15% des Messwertes im Emissionsstart (200 ms)
Bereich 1×10 -8 ... 10 -2 mbar
1)
Sicherung vorzuschalten 1.25 AT
5% des Messwertes im
Leistungsaufnahme ≤18 W (nur BPG402-S/-SL)
Bereich 1×10 -8 ... 10 -2 mbar
Elektrischer Anschluss D-Sub-Stecker, 15-polig
Messkabel abgeschirmt, Anzahl Adern
2.4×10 -2 mbar
abhängig von den verwen-
3.2×10 -2 mbar
deten Funktionen
Leitungslänge (24 V (dc)) ≤35 m
5 mA
≤50 m
≤100 m (1.0 mm²/Ader)
25 µA
Bei RS232C-Betrieb ≤30 m
Werkstoffe gegen Vakuum
-6
7.2×10 mbar
Gehäuse, Halterungen,
-5
3.0×10 mbar
Abschirmungen Edelstahl
Durchführungen NiFe vernickelt
Isolator Glas
2
Katode Iridium, Yttriumoxyd (Y
Automatisch durch die Mess-
Katodenhalter Molybdän, Platin
röhre (ab Werk) oder über
Pirani-Element Wolfram, Kupfer
die Schnittstellen (→  [1])
Inneres Volumen
DN 25 ISO-KF 24 cm 3
≈
<4s
DN 40 CF-R 34 cm 3
≈
LED, Relaiskontakt
Druck max. 2 bar (absolut)
Emission Ein/Aus autom.
Zulässige Temperaturen
Lagerung –20 ... +70 °C
Emission Ein/Aus über
Schnittstellen (→  [1])
Betrieb 0 ... +50 °C
3)
Ausheizen 80 °C
3)
langes Rohr 150 °C
≈ 20 mA
Relative Feuchte
0 V/+24 V (dc), aktiv high
Jahresmittel ≤65% (nicht kondensierend)
an 60 Tagen ≤85% (nicht kondensierend)
<3 Min., danach selbsttätige
Abschaltung
Verwendung nur in Innenräumen
Höhe bis zu 2000 m NN
Einbaulage beliebig
Schutzart IP 30
0 ... +10 V
+0.774 ... +10 V
1)
INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
(5×10 -10 ... 1000 mbar)
2)
Spannungsabfall auf Speiseleitungen berücksichtigen.
logarithmisch, 0.75 V/ Dekade
3)
Am Vakuumanschluss, ohne Elektronikeinheit, Einbaulage
horizontal.
≈ +0.1 V (dc)
≈ +0.3 V (dc)
≈ +0.5 V (dc)
Abmessungen [mm]
10 kΩ
42 kΩ zwischen Pin 10 und
Pin 5 (Messkabelstecker)
-9
1×10 ... 100 mbar
einstellbar mit Potenziometer
1 potentialfreier Arbeitskon-
takt (NO)
(→ Elektrischer Anschluss)
10% des Schwellwertes
≤30 V, ≤0.5 A (dc)
9600 Baud, binär
8 Daten-Bits, 1 Stopp-Bit
nein
nein
→ "Elektrischer Anschluss" DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R
LCD-Matrix, 32×16 Pixel,
mit Hintergrundbeleuchtung
17 mm × 12 mm
mbar (ab Werk), Torr, Pa
über RS232C, →  [1]
Gewicht 353-570, 353-572 ≈ 450 g
353-571, 353-573 ≈ 710 g
353-578 ≈ 917 g
Beziehung Messsignal – Druck
Druck p [mbar]
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
(+20 ... +28 V (dc))
) 2)
1E–03
pp
1E–04
1E–05
1E–06
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0
Messsignall U [V]
(U-7.75)/0.75+c
p = 10
(0.25 mm²/Ader)
(0.34 mm²/Ader)
U p c
[V] [mbar] 0
[V] [Pa] 2
[V] [Torr] -0.125
wobei p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Maßeinheit)
O )
2 3
Gasartabhängigkeit
Für andere Gase als Luft kann der Druck im Anzeigebereich
-3
p < 10 mbar durch eine einfache Umrechnung ermittelt
werden:
p = C × angezeigter Druck
eff
Gasart Kalibrier- Gasart
faktor C
He 5.9 Luft, O , CO, N
2 2
Ne 4.1 H
2
Kr 0.5 Xe
Ar 0.8
Einbau
Vakuumanschluss
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im
Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch her-
umfliegende Teile und Gesundheitsschäden
67
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck
im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck ge-
eignete Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerde-
ten Vakuumkammer verbunden sein. Die Ver-
bindung muss den Anforderungen einer Schutz-
verbindung nach EN 61010 entsprechen:
• CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forde-
rung.
• Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
DN 40 CF-R
langes Rohr
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
die Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.
Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und
Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine
waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzu-
gen.
Die Messröhre wird standardmäßig mit eingebautem
Gitter ausgeliefert. Bei potentiell verschmutzenden
Anwendungen und zum Schutz der Elektroden vor
Licht und schnellen Teilchen wird empfohlen, das
optionale Baffle einzubauen (→  [1]).
9.0 10.0 Vakuumanschluss fettfrei.
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem an-
schließen. Schutzkappe aufbewahren.
Elektrischer Anschluss
(Nur BPG402-S/-SL)
Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlos-
sen sein (→ "Vakuumanschluss").

Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel ge-
mäss Schema herstellen.
-
( )
1)
Schwellwert, SP 3
4
SP
1
11
Filament-Status
9
TxD 13
Kalibrier-
RS232
faktor C
RxD 14
1.0
Degas 7
2.4
Degas
0.4
6
2
Messsignal
-
12
1.25 AT
8
42 kΩ
-
V Ident.
10 24V
S -
5
15
Masse 24V-Spannung
1
9
Erde (Gehäuse, Vakuumanschluss) D-Sub,15 polig
Buchsen,
lötseitig
15
8
Elektrischer Anschluss
Pin 1 Relais Schaltfunktion,
gemeinsamer Kontakt
Pin 2 Messsignalausgang 0 ... +10 V
1)
Pin 3 Schwellwert 0 ... +10 V
Pin 4 Relais Schaltfunktion,
Arbeitskontakt (NO)
Pin 5 Speisung Masse 0 V
Pin 6 nicht belegt
Pin 7 Degas (aktiv high) 0 V/+24 V
Pin 8 Speisung (V ) +24 V
s
Pin 9 Relais Filament-Status,
2)
Arbeitskontakt
Pin 10 Messröhrenidentifikation
Pin 11 Relais Filament-Status,
gemeinsamer Kontakt 2) (NO)
Pin 12 Messsignal Masse
Pin 13 RS232C, TxD
Pin 14 RS232C, RxD
Pin 15 nicht anschließen
1) Für den normalen Betrieb der Messröhre darf Pin 3
nicht angeschlossen werden. Dieser Anschluss dient
ausschliesslich der Schwellwerteinstellung der
Schaltfunktion ( → Kapitel "Schaltfunktion").
2) ( → Kapitel "Filament-Status").
(2015-06)
t i ma 4 6 d 1 - c
Original: Deutsch tima46d1-c (2015-06)