3. 機能詳細
3-1. 出力信号
MJ632 は図 3-1 に示すような A/B 相、原点、アラームを出力します。
最小位相差 : Tw : 100 ns (最小位相差設定100 ns時)
Tw Tw Tw Tw
A
B
設定分解能
1/4 原点
ALARM
・ ヘッドユニット PL101 の移動量は 50 ns ごとに検出され、移動量に比例した
位相差で出力されます。位相差は 50 ns の整数倍で変化します。
・ アラーム検出時は、アラーム信号がアクティブになり、A/B 相はハイインピー
ダンスになります。
3-2. A/B 相最小位相差と最大応答速度
ヘッドユニットの移動速度に応じて、A/B 相の最小位相差は変化します。ご使用
モデルの A/B 相最小位相差未満の最小位相差になると、スピードアラームを出
力します。 (「2-2. 型名」参照 ) スピードアラームを出力する直前の速度が最大
応答速度です。
最大応答速度 (m/s)
分割数 分解能
100 ns
4000
0.2 µm
1.4 m/s
1600
0.5 µm
3.5 m/s
800
1.0 µm
7 m/s
400
2.0 µm
14 m/s
160
5.0 µm
35 m/s
80
10 µm
70 m/s
A/B 相最小位相差が 25 µs のモデルには、分解能 0.2 µm、0.5 µm はありません。
MJ632
Tw +N
50 ns
N: 移動速度によ り変動
図 3-1
150 ns
200 ns
0.9 m/s
0.7 m/s
0.6 m/s
2.3 m/s
1.8 m/s
1.5 m/s
4.6 m/s
3.7 m/s
3.0 m/s
9.3 m/s
7.5 m/s
6.0 m/s
23 m/s
18 m/s
15 m/s
46 m/s
37 m/s
30 m/s
移動方向反転
最小位相差
250 ns
300 ns
500 ns
0.5 m/s
0.3 m/s
1.2 m/s
0.7 m/s
2.5 m/s
1.5 m/s
5.0 m/s
3.0 m/s
12.5 m/s 7.5 m/s
25 m/s
15 m/s
ハイ イ ンピーダンス
2.5 µs
25 µs
0.04 m/s ―
0.15 m/s ―
0.3 m/s
0.02 m/s
0.6 m/s
0.06 m/s
1.5 m/s
0.15 m/s
3.0 m/s
0.3 m/s
3
(J)