Steuerung Einer Active Inverted Magnetron (Aim)-Messröhre; Messröhreneinrichtungsbildschirm Für Asg2; Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Asg2 - Edwards Tic Instrument Controller Betriebsanleitung

D39701882 Ausgabe H
Fehler- und Diagnoseinformationen für ASG2-Messröhren sind
Diagnosemeldung
Over Range
ASG2 Cant Zero
4.8.5 Steuerung einer Active Inverted Magnetron (AIM)-Messröhre
Hinweis: Dieser Abschnitt erläutert sowohl die Messröhren mit Standard- (AIM-S) als auch mit linearem Ausgang
(AIM-X), einschließlich Versionen mit schwachem Magnetfeld (-SL oder -XL) und ausheizbare Ausführungen
(Typ DN40CF).
Hinweis: Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum Einsatz der Messröhren der Typen AIM-S und AIM-X
sind den entsprechenden Betriebsanleitungen (D14641885 oder D14661880) zu entnehmen.
Acrive Inverted Magnetron-Messröhren (AIM) sind gasabhängige Kaltkathoden-Ionisations-Messröhren, die Druckwerte
-2
im Bereich von 1 x 10 bis 1 x 10
die Standard- (AIM-S) und lineare (AIM-X) Ausgangssignale liefern, ebenso Varianten mit schwachem äußeren
Magnetfeld (AIM-SL und AIM-XL) zum Einsatz in empfindlichen wissenschaftlichen Instrumenten und spezielle
ausheizbare Röhren für den Einsatz in UHV-Anwendungen.
Für AIM-Messröhren gibt es keine zusätzlichen Setup-Optionen. (Siehe „Standard-Einrichtungsoptionen (alle
Messröhren)" Abschnitt 4.8.1.)
Fehler- und Diagnoseinformationen für AIM-Messröhren sind
Abbildung 20 – Messröhreneinrichtungsbildschirm für ASG2
Tabelle 18 – Fehler-/Diagnoseüberwachung bei ASG2
Beschreibung
(Messröhrenausgang > 11.000 V)
Zeigt an, dass entweder der gemessene Gasdruck außerhalb des Messbereichs der
Messröhre liegt oder dass bei der Messröhre ein Defekt vorliegt.
Löschen Sie die Fehlermeldung, verringern Sie den Prozessdruck, so dass er innerhalb
des Messbereichs der Messröhre liegt, führen Sie einen „Scroll" zur Zeile durch, in der
die Messröhre angezeigt wird, und drücken Sie „Cycle". Wenn die Messröhre keinen
Druckwert liefert, sollte sie ausgetauscht werden.
Zeigt an, dass die Ausgabe der Messröhre außerhalb des Bereichs -100 mV bis +100 mV
liegt.
Die wahrscheinlichste Ursache dieses Fehlers ist entweder der Versuch, die Nullstelle
der Messröhre bei einem zu hohen Druck einzustellen, oder ein Defekt der Messröhre.
Versuchen Sie, die Nullstelle der Messröhre erneut festzulegen, und wenn der Fehler
weiter besteht, sollte die Messröhre ausgetauscht werden.
-9 -3
mbar (7,5 x 10
Tabelle 18 zu entnehmen.
-10
bis 7,5 x 10 Torr) messen. Es gibt eine Reihe von Varianten,
Tabelle 19 zu entnehmen.
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