Einrichtungsbildschirm Für Wrg-Messröhre; Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Wrg-Messröhren - Edwards Tic Instrument Controller Betriebsanleitung

D39701882 Ausgabe H
Hinweis: Wenn die Pirani-Messröhre ausgetauscht wird (siehe WRG-Anleitung D147-01-885), kann sie anfangs
möglicherweise keine Druckwerte unter 1x10
manuelle Vakuumkalibrierung erforderlich.
Pumpen Sie bis zu 1 x 10
der Beschreibung in der Anleitung durchführen.
WRG verfügt über eine integrierte Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe
Diagnosemeldungen
Over Range
Not Struck
Striker Fail
Mag Fail
Filament Fail
Under Range
Abbildung 22 – Einrichtungsbildschirm für WRG-Messröhre
-5
mbar (7,5 x 10
Tabelle 23 – Fehler-/Diagnoseüberwachung bei WRG-Messröhren
Beschreibung
(Messröhrenausgabe > 10,600 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass sie ersetzt werden sollte.
(Messröhren-Ausgabe = 1,300 V)
Zeigt an, dass der Penning-Teil der Messröhre nicht gestartet ist.
Die Messröhre sollte auf Spuren von Verunreinigungen oder Ablagerungen untersucht
werden. Wenn Anode und Kathode nicht glänzen, sollte die Messröhre nach der
Beschreibung in der WRG-Anleitung gereinigt werden.
(Messröhren-Ausgabe = 1,200 V)
Zeigt an, dass der Starter-Heizfaden gebrochen ist.
Die Elektrodenbaugruppe (D14701802) sollte ausgetauscht werden, wie in der WRG-
Anleitung beschrieben.
(Messröhren-Ausgabe = 1,100 V)
Zeigt an, dass im Penning-Teil der WRG-Messröhre ein Kurzschluss aufgetreten ist. Die
Ursache hierfür könnte Verunreinigung oder ein Fremdkörper sein. Die WRG-Messröhre
sollte nach der Beschreibung in der Anleitung gereinigt werden.
Wenn der Fehler dadurch nicht behoben werden kann, sollte die WRG gewartet und
die Elektrodenbaugruppe (D14701802) nach der Beschreibung in der Anleitung
ausgetauscht werden.
(Messröhren-Ausgabe = 1,000 V)
Zeigt an, dass das Pirani-Element der Messröhre ausgefallen ist. Der wahrscheinlichste
Fehler ist ein gebrochener Heizfaden. Die WRG-Messröhre sollte nach der
Beschreibung in der Anleitung gewartet werden.
(Messröhrenausgabe < 0,950 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das Elektronikmodul
ersetzt werden sollte.
-3 -4
mbar (7,5 x 10 Torr) anzeigen. In diesem Fall ist eine
-6
Torr) oder darunter ab, bevor Sie die Kalibrierung („CAL") nach
Tabelle
Seite 30
23.)