Edwards TIC Instrument Controller D397-01 Betriebsanleitung

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Beschreibung

TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren

TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Kapazitätsmanometer

Betriebsanleitung

TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

D397-01-882

Issue E

Bestellnummer

D397-01-000

D397-02-000

Inhaltsverzeichnis

Inhaltszusammenfassung für Edwards TIC Instrument Controller D397-01

Seite 1 D397-01-882 Issue E Betriebsanleitung TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren Beschreibung Bestellnummer TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren D397-01-000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Kapazitätsmanometer D397-02-000 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte TIC Instrument Controller D397-00-000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Verknüpfen von Messgeräten ..................38 4.12 Parameters/Units (Parameter/Einheiten) ................39 4.13 Screen options (Anzeigeoptionen) ................... 39 4.13.1 Organisieren der Messröhren auf der Displayanzeige .............40 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Setup-Bildschirm des Kapazitätsmanometers ..............37 „CONTROLLED ITEM“ – das gesteuerte Element ..............38 „CONTROL SETUP“ – Einstellen der Steuerung ..............39 Einrichtung der Messgerätereihenfolge ................40 Seite ii © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Setup-Optionen des Kapazitätsmanometers ................ 37 Fehlersuche ......................43 Werkseitige Standardeinstellungen .................. 45 Zubehör ........................50 Warenzeichen ® Barocel ist ein eingetragenes Warenzeichen von TBA © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einführung
Diese Anleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung des TIC Instrument Controllers mit 6 Messröhren von Edwards. Der Controller darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie sich dieses Handbuch durch, bevor Sie den Controller installieren oder in Betrieb nehmen.
Seite 8: Geräte, Die Mit Dem Tic Instrument Controller Mit 6 Messröhren Kompatibel Sind
TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Maximal 6 Aktiv-Messröhren, darunter: APG, APGX, ATC, Kapazitätsmanometer ASG, AIM, WRG, AIGX, IGC und die Kapazitätsmanometer 600, 622, 655 and 658 Seite 2 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 9: Technische Daten
(intern angehoben auf 24 V) Steuereingang µ niedrig <2,0 V Gleichstrom (I <160 hoch >3,5 V Gleichstrom (intern angehoben auf 24 V) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 10: Logik-Schnittstelle
3,5 V bis 24 V Gleichstrom (intern angehoben auf 24 V) Analogausgang 0 bis 10 V (5 mA max.) 50 mV Auflösung Abbildung 2 - Pinbelegung für eine 15-polige Sub-D-Buchse Seite 4 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Pinbelegung Am Anschluss Der Logik-Schnittstelle
Gauge 3 enable input (Eingang Messgerät 3 aktivieren) Do not connect (Nicht anschließen) Do not connect (Nicht anschließen) Do not connect (Nicht anschließen) System interlock input (SYSI) (Eingang Systemverriegelung) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Serielle Datenübertragung
RS232 transmit (RS232-Übertragung) RS232 receive (RS232 Empfang) RS232 common (RS232 gemeinsam) RS485 data A (RS485 Daten A) RS485 data B (RS485 Daten B) Seite 6 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13: Analogausgänge
Gauge 5 signal (Messröhre 5 Signal) Gauge 3 signal (Messröhre 3 Signal) Gauge 6 signal (Messröhre 6 Signal) Common (0 V) (Gemeinsam) Common (0 V) (Gemeinsam) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15: Installation
Entfernen Sie sämtliches Verpackungsmaterial und überprüfen Sie den Controller. Wenn der Controller beschädigt ist, gehen Sie nach dem am Schluss dieser Anleitung beschriebenen Verfahren zur Rücksendung von Geräten an Edwards vor. Nehmen Sie den Controller nicht in Gebrauch, wenn er beschädigt ist. Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 6 aufgeführten Artikel enthalten sind.
Seite 16: Controller Als Tischgerät - Abmessungen (Mm)
Dieses Gerät entspricht der Schutzart IP20. Sorgen Sie dafür, dass es nicht an Orten aufgestellt wird, wo Flüssigkeiten in den Controller eindringen können. VORSICHT Die Einheit muss an der Rückseite gehalten werden. Seite 10 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Abbauen Der Frontplatte
Informationen zur Tafelaussparung entnehmen Sie Abbildung Befestigen Sie den Controller in der korrekten Position mit den vier zuvor entfernten Schrauben  (Abbildung 7, Ziffer 1). © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 18: Rack-Montage Eines Controllers
D397-01-882 Issue E Abbildung 7 - Rack-Montage eines Controllers 1. Befestigungsschraube mit Scheibe 2. Führungsschienen für 19"-Rack Abbildung 8 - Zeichnung Tafelaussparung Seite 12 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Elektrische Anschlüsse Des Controllers
Hinweis: Wenn Sie den Controller in einem Bereich mit starkem elektronischem Rauschen einsetzen, wird die Störfestigkeit des Controllers durch die Erdungsschraube verbessert. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 20: Anschließen Einer Aktiv-Messröhre
über die Messröhrenanschlüsse 4-6 unterstützt. Mit den Messgerät-Anschlüssen können bis zu sechs kompatible Aktiv-Messröhren verbunden werden. Schließen Sie die Messröhren mit Hilfe der Kabel für Aktiv-Messröhren von Edwards jeweils an eine der sechs Buchsen auf der Rückseite des Controllers an.
Seite 21: Anschließen Der Logik-Schnittstelle
Jedes Relais kann manuell gesteuert werden. Siehe Abschnitt 4.5. Optional sind zwei Relaisbox-Typen von Edwards mit entweder 3 oder 6 Relaisausgängen erhältlich. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Ibm-Pc, Rs232-Schnittstelle - 25-Polig
Länge der RS232-Kabel auf weniger als 10 Meter. Bei längeren Verbindungsleitungen installieren Sie entweder Leitungstreiber, oder verwenden Sie RS485. Abbildung 10 - IBM-PC, RS232-Schnittstelle - 9-polig Abbildung 11 - IBM-PC, RS232-Schnittstelle - 25-polig Seite 16 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Anschließen Der Rs485-Schnittstelle
Bei langen Verbindungen sind eventuell zusätzliche 120 Ω-Abschlusswiderstände an jedem Ende der Verbindung erforderlich, um die Zuverlässigkeit der Datenübertragung zu verbessern. Abbildung 12 - RS485 TIC-Netzwerk © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25: Betrieb
Zugreifen auf das markierte Untermenü. Bearbeiten der markierten Liste oder des numerischen Elements. Weiter zur nächsten Dezimalstelle eines numerischen Wertes. Springen zum Setup-Bildschirm des markierten Messgerätes. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 26: Menüstruktur
Menüstruktur des TIC. Sie enthalten auch Hinweise dazu, welche Schaltfelder Sie innerhalb der Menüs wohin führen. Abbildung 14 - Schnellzugriff auf die Displayanzeige Seite 20 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27: Menü-Navigation
OFF) der Messgeräte. Für die meisten Konfigurationsaufgaben gibt es nicht mehr als drei Menüebenen. Die Funktionen der Tasten des Bedienfeldes auf der Frontplatte werden in Tabelle 10 beschrieben. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Die Displayanzeige
Wenn „System Interlock“ (SYSI) aktiv ist, werden Niederdruck-Messgeräte nicht eingeschaltet, wenn Sie „Cycle“ ( ) drücken. Wenn SYSI dagegen während des Vakuumzyklus geöffnet wird, werden alle angeschlossenen steuerbaren Komponenten ausgeschaltet („OFF“). Seite 22 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29: Ändern Von Listenelementen
), um zum nächsten Punkt in der Liste zu gelangen oder die Taste „Menu“ ( ), um zu den anderen Menüs zurückzukehren. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30: Einstellen Der Messgeräte
Alle Messgeräte haben die folgenden Standard-Elemente auf ihren jeweiligen Setup-Bildschirmen. (Im Beispiel unten ist als Messgerät eine APGM-Messröhre angeschlossen). Abbildung 18 - Setup-Bildschirm des Messgeräts Seite 24 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Statusmeldungen Der Messgeräte
Wenn die Messröhre keinen Druckwert liefert, sollte sie ausgetauscht werden. Dieser Fehler tritt am häufigsten bei Gasen mit geringem Molekulargewicht auf, beispielsweise Helium. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Lineare Aktiv-Pirani-Messröhre (Apgx)
Drücken Sie „Select“. „Command Sent“ erscheint nach 1 Sekunde, um die Ausführung der Anweisung zu bestätigen. Drücken Sie die Taste „Menu“( ), um zum Anzeigebildschirm zurückzukehren. Seite 26 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 33: Steuerung Einer Aktiv-Thermocouple-Messröhre (Atc-E)
Messgeräte für den oberen Druckbereich. Das Elektronikmodul ATC-E ist mit zwei Typen von Thermocouple-Messröhren kompatibel, um einen großen Messbereich zu ermöglichen. (Siehe Tabelle 16). © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 34: Steuerung Einer Aktiv-Dehnungsmessröhre (Asg)
Eine ASG-Messröhre hat zusätzlich zu den gezeigten noch weitere Menüoptionen. (Siehe „Optionen des Standard- Setups (alle Messgeräte)“ Abschnitt 4.8.1.) (Siehe Tabelle 18 Abbildung 20). Seite 28 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 35: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Asg
Messröhre bei einem zu hohen Druck einzustellen, oder ein Defekt der Messröhre. Versuchen Sie, den Nullpunkt der Messröhre erneut festzulegen, und wenn der Fehler weiter besteht, sollte die Messröhre ausgetauscht werden. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 36: Steuerung Einer Aktiv-Penning-Messröhre (Aim)
Ablagerungen untersucht werden. Wenn die Anode und die Kathode nicht glänzen, sollte die Messröhre gereinigt oder die Elektroden sollten ausgetauscht werden (D145-45-802 oder D146-61-802), wie in der AIM- Anleitung beschrieben. Seite 30 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Steuerung Einer Aktiv-Ionisationsmessröhre (Aigx-S)
Es gibt keine Vorrichtung, die ein manuelles Abschalten des Entgasens in der Mitte des Zyklus ermöglichen würde. Abbildung 21 - Der Bildschirm „Gauge Setup“ für AIGX © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 38: Wide-Range-Messröhre (Wrg)
Die WRG führt jedes Mal, wenn sie unter 1 x 10 mbar (7,5 x 10 Torr) gepumpt wird, automatisch die Vakuumeinstellung für die Pirani-Messröhre durch. Seite 32 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 39: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Wrg
Beschreibung in der Anleitung gewartet werden. Under Range (Messröhren-Ausgang <0,950 V) Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das Elektronikmodul ersetzt werden sollte. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40: Ion Gauge Controller (Igc) - Messröhrentyp Wird Als „Ioneb" Angezeigt
ändern, blättern Sie zur gewünschten Option und drücken Sie anschließend „Select“, um die ausgewählte Option zu ändern. Hinweise: Sie können den Kopf nicht ändern, wenn die Emission eingeschaltet ist. Seite 34 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 41 /Pascal, wobei der Wert von der Druckeinheit abhängig ist, wie zum Beispiel 6,4/mbar = 8,53/Torr. Fil 2 Const Wie "Fil 1 Const" oben (jedoch Heizfaden 2). © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 42: Kapazitätsmanometer (Nur D39702000)
Die Kapazitätsmanometer sind gasabhängig und in einer Vielzahl von Baureihen erhältlich. Sie sind in der Baureihe der Vakuum-Messgeräte von Edwards einzigartig, denn Sie benötigen nur eine ± 15 V Stromversorgung anstatt einer +24 V Stromversorgung. Diese Stromversorgung wird von den TIC-Einheiten D39702000 geliefert.
Seite 43: Setup-Bildschirm Des Kapazitätsmanometers
Anzahl von Dezimalstellen angezeigt. Die angezeigte Auflösung hängt von dem Bereich ab, der im Menü "Range" ausgewählt wurde. Abbildung 24 - Setup-Bildschirm des Kapazitätsmanometers gea/d39701/f23 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 44: Alarme
Einheiten, die verwendet werden sollen, und stellen Sie anschließend die Schaltpunkte für "On" und "Off" entsprechend den Erfordernissen ein, wie in Abbildung 26 gezeigt. Seite 38 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 45: Parameters/Units (Parameter/Einheiten)
Messröhren, die so konfiguriert wurden, dass sie angezeigt werden, blättern. Three gauge order - Der Anwender kann die Anweisung festlegen, welche Messröhren gezeigt werden.  © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 46: Organisieren Der Messröhren Auf Der Displayanzeige
Druck eines Messgerätes zu verknüpfen. Sie werden auf dieselbe Weise eingestellt wie beim Verknüpfen von Messgeräten („Link Gauges“), siehe Abschnitt 4.11. Bei Aktivierung eines Relais-Schaltpunkts wechselt der Anzeigebereiche auf der Displayanzeige in die Inversanzeige. Seite 40 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 47: Service-Informationen
Wenn die Stromversorgung zum Controller ausfällt, unterbrechen alle angeschlossenen Messgeräte und die Logik- Schnittstelle ihren Betrieb so lange, bis die Stromversorgung wieder hergestellt ist. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 49: Wartung
Der Controller besitzt keine Teile, die Sie selbst warten können. Öffnen Sie das Gerät nicht. Schicken Sie es für alle erforderlichen Reparaturen an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum. Formulare für die Rücksendung von Geräten an Edwards finden Sie am Schluss dieser Anleitung. Fehlersuche...
Seite 50: Reinigen Des Controllers
Wenn nötig, reinigen Sie die Außenflächen des Controllers mit einem weichen, trockenen Tuch. Verwenden Sie zum Reinigen keine harten Schleifmittel oder Flüssigkeiten. Wenn das Innere des Controllers gereinigt werden muss, empfiehlt Edwards, den Controller dazu an den Lieferanten oder das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum zu schicken.
Seite 51: Werkseitige Standardeinstellungen
= All CapMan/ASG fixed/float = Float IGC Filament IGC Head IGC Emission = Auto IGC Restrike = Off IGC Fil Const = 10,0 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 53: Lagerung Und Entsorgung
Altgeräte. Edwards bietet seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für den Controller und die Kabel am Ende seiner/ihrer Lebensdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Controller und Kabel beachten müssen.
Seite 55: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen absolviert haben. Edwards empfiehlt, für die Wartung dieses Produkts die Wartungs- und Service-Kits von Edwards zu verwenden. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei der nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an:...
Seite 56: Zubehör
TIC-Relaisbox 3 x 240 V D397-00-804 TIC-Relaisbox 6 x 240 V D397-01-804 Schnittstellenkabel 2 m Kabel für Logik-Schnittstelle D397-00-833 2 m Kabel für RS232-Schnittstelle D397-00-834 Seite 50 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 57 2 m mit Stecker (US-Norm) D400-13-120 2 m mit Stecker (nordeuropäische Norm) D400-13-120 Sonstiges Zubehör und Unterstützungsprodukte TIC-Aktualisierungen, Software und Bedienungsanleitungen www.upgrades.edwardsvacuum.com © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 51 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Diese Anleitung auch für:

Tic instrument controller d397-02

Edwards TIC Instrument Controller D397-01 Betriebsanleitung

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Lagerung und Entsorgung

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