D39701882 Ausgabe H
Diagnosemeldungen
Over Range
Under Range
Menüoption
Calibrate
APGX verfügt über eine integrierte Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe
Tabelle 14 – Fehler-/Diagnoseüberwachung bei (APG)
Beschreibung
(Messröhrenausgang > 11.000 V)
Zeigt an, dass entweder der gemessene Gasdruck außerhalb des Messbereichs der
Messröhre liegt oder dass bei der Messröhre ein Defekt vorliegt.
Löschen Sie die Fehlermeldung, verringern Sie den Prozessdruck, so dass er
innerhalb des Messbereichs der Messröhre liegt, scrollen sie zur Seite, in der die
Messröhre angezeigt wird, und drücken Sie „Cycle". Wenn die Messröhre keinen
Druckwert liefert, sollte sie ausgetauscht werden.
Dies tritt am häufigsten bei Gasen mit geringem Molekulargewicht auf,
beispielsweise bei Helium.
(Messröhrenausgang < 1.800 V)
Zeigt an, dass entweder ein Kalibrierungsfehler vorliegt oder die Messröhre defekt
ist.
Eichen Sie die Messröhre, wie in ihrer Anleitung beschrieben. Wenn der Fehler
weiter besteht, tauschen Sie die Messröhre aus.
Tabelle 15 – Einrichtungoptionen für APGX
Beschreibung
Ermöglicht dem Anwender, die lineare APG-Messröhre auf Atmosphärendruck und
Vakuum zu kalibrieren.
Schließen Sie die Messröhre an den Controller an, und betreiben Sie sie mindestens
10 Minuten bei Atmosphärendruck.
Scrollen Sie zu „Calibrate" und betätigen Sie anschließend „Auswahl".
„Command Sent" erscheint 1 Sekunde lang, um die Ausführung der Anweisung zu
bestätigen.
Reduzieren Sie den Systemdruck auf
Betätigen Sie „Auswahl". „Command Sent" erscheint 1 Sekunde lang, um die
Ausführung der Anweisung zu bestätigen.
Betätigen Sie die Taste „Menü" (
Abbildung 19 – Messröhren-Einrichtungsbildschirm für APGX-M
unter 1e-5 mbar (7,5e-6 Torr).
), um zum Anzeigebildschirm zurückzukehren.
Tabelle
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16.)