D397-01-882 Issue E
4.8.7
Steuerung einer Aktiv-Penning-Messröhre (AIM)
Hinweis:
Dieser Abschnitt erläutert sowohl die Messröhren mit Standard- (AIM-S) als auch mit linearem Ausgang
(AIM-X), einschließlich Versionen mit schwachem Magnetfeld
(-SL oder -XL) und ausheizbaren Ausführungen (Typ DN40CF).
Hinweis:
Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum Einsatz der Messröhren der Baureihen AIM-S und
AIM-X sind den entsprechenden Anleitungen (D146-41-885 und D146-61-880) zu entnehmen.
Aktiv-Penning-Messröhren (AIM) sind gasabhängige, nach dem Prinzip einer Ionisationsmessröhre mit kalter Kathode
arbeitende Messröhren, die Drücke im Bereich von 1 x 10
Es gibt eine Reihe von Varianten, die Standard- (AIM-S) und lineare (AIM-X) Ausgangssignale liefern, ebenso Varianten
mit schwachem äußeren Magnetfeld (AIM-SL und AIM-XL) zum Einsatz in empfindlichen wissenschaftlichen
Instrumenten und spezielle ausheizbare Röhren für den Einsatz in UHV-Anwendungen.
Für AIM-Messröhren gibt es keine zusätzlichen Setup-Optionen. (Siehe „Optionen des Standard-Setups (alle
Messgeräte)"
Abschnitt
4.8.1.)
Fehler- und Diagnoseinformationen für AIM-Messröhren sind
Tabelle 20 - Fehler-/Diagnoseüberwachung bei AIM-Messröhren
Diagnosemeldungen
Over Range
Under Range
Striking
Not Struck
Seite 30
-2
bis 1 x 10
Tabelle 20
Beschreibung
(Messröhren-Ausgang >11,000 V)
Zeigt an, dass der gemessene Gasdruck außerhalb des Messbereichs der
Messröhre liegt oder dass der falsche Gastyp gewählt wurde.
Überprüfen Sie, dass das gewählte Gas korrekt ist, schalten Sie die Messröhre
aus, löschen Sie den Fehler, verringern Sie den Prozessdruck, sodass er
innerhalb des Messbereichs der Messröhre liegt, und drücken Sie „Cycle".
Wenn der Fehler weiter besteht, liegt ein Defekt an der Messröhre vor, und das
Elektronikmodul sollte ausgetauscht werden.
(Messröhren-Ausgang <0,025 V)
Zeigt an, dass ein Defekt an der Messröhre oder am Kabel vorliegt. Tauschen Sie
das Kabel aus, und wenn der Fehler weiter besteht, sollte das Elektronikmodul
ausgetauscht werden.
Zeigt an, dass die Messröhre zu starten versucht.
Der TIC bleibt max. 15 Minuten in diesem Betriebsmodus.
Zeigt, dass die Messröhre innerhalb von 15 Minuten nicht starten konnte.
Die wahrscheinlichste Ursache hierfür ist die allmähliche Verunreinigung der
Messröhre. Die Messröhre sollte auf Spuren von Verunreinigungen oder
Ablagerungen untersucht werden. Wenn die Anode und die Kathode nicht
glänzen, sollte die Messröhre gereinigt oder die Elektroden sollten
ausgetauscht werden (D145-45-802 oder D146-61-802), wie in der AIM-
Anleitung beschrieben.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
-9
-3
mbar (7,5 x 10
bis 7,5 x 10
zu entnehmen.
© Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten.
-10
Torr) messen.