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D397-21-882
Issue J
Betriebsanleitung
Instrument Controller
Beschreibung
Bestellnummer
TIC Instrument Controller
D397-00-000
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
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Inhaltszusammenfassung für Edwards D397-00-000

  • Seite 1 D397-21-882 Issue J Betriebsanleitung Instrument Controller Beschreibung Bestellnummer TIC Instrument Controller D397-00-000 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
  • Seite 2: Ce-Konformitätserklärung

    CE-Konformitätserklärung Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt TIC Instrument Controller D39700000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren D39701000 TIC Turbo Controller mit 6 Röhren, Kapazitätsmanometer D39702000 TIC Turbo Controller 100 W D39711000...
  • Seite 3: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität

    Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU-Richtlinie (EMV): Klasse B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III oder IV Anhang III: •...
  • Seite 4 Werkstoffinhaltserklärung China Gefährliche Stoffe Teilebezeichnung Hexavalentes Polybromierte Polybromierter Blei Quecksilber Cadmium Chrom Biphenyle Diphenylether (Pb) (Hg) (Cd) (Cr VI) (PBB) (PBDE) Kabel/Draht/Anschluss Leiterplattenbaugruppe (PCA) Mechanische Komponenten O: Zeigt an, dass der gefährliche Stoff, der in allen für dieses Teil verwendeten homogenen Werkstoffen enthalten ist, unter dem in GB/T 26572 vorgeschriebenen Grenzwert liegt.
  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    4.13 Anzeigeoptionen ......................33 4.13.1 Organisieren der Messröhren auf der Displayanzeige .............33 4.14 Ausgänge für Schaltpunkte der Relais ................34 4.15 Service-Informationen ....................34 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 6 Der Bildschirm „Gauge Setup“ für WRG ................30 „CONTROLLED ITEM“ – das gesteuerte Element ..............31 „CONTROL SETUP“ – Einstellen der Steuerung ..............32 Einrichtung der Messgerätereihenfolge ................33 Seite ii © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 7 Fehler-/Diagnoseüberwachung bei AIGX-Messröhren ............28 Setup-Optionen für eine WRG-Messröhre ................29 Fehler-/Diagnoseüberwachung bei WRG-Messröhren ............30 Fehlersuche ......................35 Werkseitige Standardeinstellungen ................. 37 Zubehör ......................... 42 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 8 D397-21-882 Issue J Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite iv © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 9: Einführung

    Remote-PC und einer Logik-Schnittstelle für die Anbindung an die verbundene System-Hardware ausgestattet. Die kompatiblen Messgeräte, die in Verbindung mit dem Instrument Controller eingesetzt werden können, werden in Tabelle 1 aufgelistet. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 1 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 10: Mit Dem Instrument Controller Kompatible Geräte

    Tabelle 1 - Mit dem Instrument Controller kompatible Geräte Controller-Variante Kompatibilität TIC Instrumenten-Controller Maximal 3 Aktiv-Messröhren, darunter: APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG und AIGX Seite 2 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 11: Technische Daten

    (intern angehoben auf 24 V) Steuereingang niedrig: <2,0 V Gleichspannung (I <160 µA) hoch: >3,5 V Gleichspannung (intern angehoben auf 24 V) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 12: Logik-Schnittstelle

    3,5 V bis 24 V Gleichspannung (intern angehoben auf 24 V) Analogausgang 0 bis 10 V (5 mA max.) 50 mV Auflösung Abbildung 2 - Pinbelegung für eine 15-polige Sub-D-Buchse Seite 4 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 13: Serielle Datenübertragung

    >± 0,2 V (I max.: ± 1 mA) Maximaler Eingang: -7,0 V bis +12 V Buslast Der Controller legt eine Lasteinheit an den RS485-Bus an. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 14: Analogausgänge

    (± 2% ± 15 mV, wenn im Bereich 0 bis +10 V) Abgetrennte Messröhre: 12 V (± 1,3 V) Abbildung 4 - Pin-Anschluss für 4-polige Analogausgangsbuchs gea/d39701/f4 Seite 6 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 15: Pinbelegung Für Analogausgänge

    Gauge 1 signal (Messröhre 1 Signal) Gauge 2 signal (Messröhre 2 Signal) Gauge 3 signal (Messröhre 3 Signal) Common (0 V) (Gemeinsam) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 16 D397-21-882 Issue J Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 8 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 17: Installation

    Entfernen Sie sämtliches Verpackungsmaterial und überprüfen Sie den Controller. Wenn der Controller beschädigt ist, gehen Sie nach dem am Schluss dieser Anleitung beschriebenen Verfahren zur Rücksendung von Geräten an Edwards vor. Nehmen Sie den Controller nicht in Gebrauch, wenn er beschädigt ist. Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 6 aufgeführten Artikel enthalten sind.
  • Seite 18: Controller Als Tischgerät - Abmessungen (Mm)

    Flüssigkeiten in den Controller eindringen können. VORSICHT Die Einheit muss an der Rückseite gehalten werden. Abbildung 6 - Abbauen der Frontplatte 1. Tischgerät-Adapter 2. Befestigungsschraube mit Scheibe Seite 10 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 19: Rack-Montage Eines Controllers

    7, Ziffer 1). Abbildung 7 - Rack-Montage eines Controllers 1. Befestigungsschraube mit Scheibe 2. Führungsschienen für 19"-Rack Abbildung 8 - Zeichnung Tafelaussparung © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 20: Elektrische Anschlüsse Des Controllers

    Verbinden Sie ein in geeigneter Weise geerdetes Kabel der Erdungsschraube auf der Rückseite des Controllers. Hinweis: Entfernen Sie die untere Mutter nicht von der Erdungsschraube. Seite 12 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 21: Anschließen Einer Aktiv-Messröhre

    Messgerät führen, außerdem würden Sie Ihren Gewährleistungsanspruch für den Controller verlieren. Mit den Messgerät-Anschlüssen können bis zu drei kompatible Aktiv-Messröhren verbunden werden. Schließen Sie die Messröhren mit Hilfe der Kabel für Aktiv-Messröhren von Edwards jeweils an eine der drei Buchsen auf der Rückseite des Controllers an.
  • Seite 22: Verwenden Der Statusausgänge

    Abschnitt 4.5. Optional sind zwei Relaisbox-Typen von Edwards mit entweder 3 oder 6 Relaisausgängen erhältlich. Die Relaisbox besitzt eingebaute Relais, die externe Lasten schalten können, und einen Anschluss, um mit einem externen System verbunden zu werden. Weitere Informationen über die Ausgänge für die Schaltpunkte finden Sie in der Anleitung zur Relaisbox.
  • Seite 23: Anschließen Der Rs485-Schnittstelle

    Bei langen Verbindungen sind eventuell zusätzliche 120 Ω-Abschlusswiderstände an jedem Ende der Verbindung erforderlich, um die Zuverlässigkeit der Datenübertragung zu verbessern. Abbildung 12 - RS485 Controller-Netzwerk © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 24 D397-21-882 Issue J Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 16 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 25: Betrieb

    Verlassen des aktuellen Untermenüs oder des Setup-Bildschirms. Abbrechen der Bearbeitung eines ausgewählten Listenelements. Bewegen zur vorhergehenden Dezimalstelle eines numerischen Wertes. CYCLE (Schalten) Ein- oder Ausschalten eines markierten Messgerätes. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 26: Menüstruktur

    Controllers. Dort finden Sie auch Hinweise darüber, welche Schaltfelder Sie innerhalb der Menüs wohin führen. Abbildung 14 - Schnellzugriff auf Ansichten Abbildung 15 - Menüstruktur Seite 18 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 27: Menü-Navigation

    Relais, und drücken Sie die Taste „Cycle“ ( ), um die Funktion zu aktivieren. Bei Aktivierung des Relais wechselt der Anzeigebereich auf der Displayanzeige in die Inversanzeige. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 28: Ändern Von Listenelementen

    Einstellungen verworfen, und die Markierung kehrt zu dem Zeilenelement zurück, sodass Sie ein anderes Element wählen und gegebenenfalls ändern können. Abbildung 17 - Ändern von numerischen Werten Seite 20 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 29: Eingabe Von Negativen Exponenten Z.b. 5.00E-03

    Messgerät angezeigt. Um den Messgerättyp zurücksetzen zu können, müssen dort, wo der Name des Messgerätes eingegeben wird, 4 Leerzeichen angezeigt werden. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 30: Optionen Des Standard-Setup (Alle Messgeräte)

    Torr). Alle Messröhren zeigen Drücke bis 1000 mbar (750 Torr) mit verminderter Genauigkeit an. Hinweis: Bei Drücken über 600 mbar weist eine geringer Empfindlichkeit auf, und der Controller zeigt Atmosphärendruck an. Seite 22 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 31: Lineare Aktiv-Pirani-Messröhre (Apgx)

    Eine APGX-Messröhre hat zusätzlich zu den gezeigten noch weitere Menüoptionen. (Siehe „Optionen des Standard- Setup (alle Messgeräte)“ Abschnitt 4.8.1. Siehe Tabelle 11). © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 32: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Apgx-M

    Zeigt an, dass die austauschbare Messröhre fehlt oder falsch installiert ist. Prüfen Sie die Röhre und stellen Sie sicher, dass die beiden Befestigungsschrauben ordnungsgemäß verschraubt sind. Hinweis: Nur für APGX-H Messröhren. Seite 24 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 33: Steuerung Einer Aktiv-Thermocouple-Messröhre (Atc-E)

    Torr), haben eine lineare Druckkennlinie und eine direkt zum Druck proportionale Ausgangsspannung. Das Ausgangssignal liegt zwischen 0 und 10 V DC über dem Messbereich der Messröhre. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 34: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Asg

    Nullpunkt der Messröhre bei einem zu hohen Druck einzustellen, oder ein Defekt der Messröhre. Versuchen Sie, die Nullstelle der Messröhre erneut festzulegen, und wenn der Fehler weiter besteht, sollte die Messröhre ausgetauscht werden. Seite 26 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 35: Steuerung Einer Aktiv-Penning-Messröhre (Aim)

    Zur Gewährleistung einer maximalen Lebensdauer der Heizfäden ist die Messröhre mit automatischer Emissionsstromschaltung und Hochdruckabschaltung ausgestattet. Die einzigen vom Anwender wählbaren Funktionen sind ein Schaltpunkt und die Entgasungsvorrichtung. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 36: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Aigx

    Zeigt an, dass sich die Messröhre automatisch abgeschaltet hat, weil der Druck über 6,6 x 10 mbar (5 x 10 Torr) angestiegen ist. Verringern Sie den Druck und aktivieren Sie die Messröhre wieder. Seite 28 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 37: Wide-Range-Messröhre (Wrg)

    Die WRG führt jedes Mal, wenn sie unter 1 x 10 mbar (7,5 x 10 Torr) gepumpt wird, automatisch die Vakuumeinstellung für die Pirani-Messröhre durch. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 38: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Wrg

    Beschreibung in der Anleitung gewartet werden. Under Range (Messröhren-Ausgang <0,950 V) Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das Elektronikmodul ersetzt werden sollte. Seite 30 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 39: Alarme

    Einheiten, die verwendet werden sollen, und stellen Sie anschließend die Schaltpunkte für „On“ und „Off“ entsprechend den Erfordernissen ein, wie in Abbildung 24 gezeigt. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 40: Parameters/Units (Parameter/Einheiten)

    Das „Protocol“ (Protokoll) gibt an, ob RS232 oder RS485 benutzt wird.  Comms address – Zum Einstellen der Datenübertragungsadresse am Controller.  Seite 32 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 41: Anzeigeoptionen

    Positionen eingerichtet wurden, blättern. Im oben genannten Beispiel kann nur zu 2 Positionen geblättert werden, da der Benutzer festgelegt hat, dass Position 2 bei der Rückkehr zur Hauptansicht nicht angezeigt wird. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 42: Ausgänge Für Schaltpunkte Der Relais

    Wenn die Stromversorgung zum Controller ausfällt, unterbrechen alle angeschlossenen Messgeräte und die Logik- Schnittstelle ihren Betrieb so lange, bis die Stromversorgung wieder hergestellt ist. Seite 34 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 43: Wartung

    Der Controller besitzt keine Teile, die Sie selbst warten können. Öffnen Sie das Gerät nicht. Schicken Sie es für alle erforderlichen Reparaturen an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum. Formulare für die Rücksendung von Geräten an Edwards finden Sie am Schluss dieser Anleitung. Fehlersuche...
  • Seite 44: Reinigen Des Controllers

    Wenn nötig, reinigen Sie die Außenflächen des Controllers mit einem weichen, trockenen Tuch. Verwenden Sie zum Reinigen keine harten Schleifmittel oder Flüssigkeiten. Wenn das Innere des Controllers gereinigt werden muss, empfiehlt Edwards, den Controller dazu an den Lieferanten oder das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum zu schicken.
  • Seite 45: Werkseitige Standardeinstellungen

    = All CapMan/ASG fixed/float = Float IGC Filament IGC Head IGC Emission = Auto IGC Restrike = Off IGC Fil Const = 10,0 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 46 D397-21-882 Issue J Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 38 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 47: Lagerung Und Entsorgung

    Altgeräte. Edwards bietet seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für den Controller und die Kabel am Ende seiner/ihrer Lebensdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Controller und Kabel beachten müssen.
  • Seite 48 D397-21-882 Issue J Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 40 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 49: Service, Ersatzteile Und Zubehör

    Dieser Satz ist für Kunden gedacht, die über einige Erfahrung bei der Durchführung von Reparaturarbeiten an elektrischen und elektronischen Systemen verfügen und ein tragbares Prüfgerät besitzen. Wenn der Kunde die Reparatur nicht selbst ausführen kann, sollte er den Controller an Edwards zur Reparatur und zur Durchführung einer erneuten Sicherheitsprüfung zurückschicken.
  • Seite 50: Zubehör

    2 m mit Stecker (US-Norm) D400-13-120 2 m mit Stecker (nordeuropäische Norm) D400-13-120 Sonstiges Zubehör und Unterstützungsprodukte TIC-Aktualisierungen, Software und Betriebsanleitungen www.upgrades.edwardsvacuum.com Seite 42 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 51: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst

    Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der...
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