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Kapazitätsmanometer (Nur D39702000); Einstelloptionen Für Kapazitätsmanometer - Edwards Tic Instrument Controller Betriebsanleitung

Inhaltsverzeichnis
Diagnosemeldungen
Initialising
Ion Em Timeout
4.8.9
Kapazitätsmanometer (nur D39702000)
Kapazitätsmanometer werden oft mit „Capmans" abgekürzt und auch mit dem Markennamen Barocels® bezeichnet.
Die unterstützten Serien sind 600, 622, 655, 658 und 7000. Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum
Einsatz von Capmans sind der Betriebsanleitung des entsprechenden Modells zu entnehmen.
Kapazitätsmanometer sind gasunabhängig und in einer Vielzahl von Versionen verfügbar. Die Messröhren der 6**-
Serien sind einzigartig unter den Edwards-Vakuum-Messröhren, da sie nur eine ±15-V- statt einer +24-V-
Stromversorgung benötigen. Die 7000er-Serie der Kapazitätsmanometer läuft bei ±15 V oder +24 V. Die
Stromversorgung erfolgt über D39702000-TIC-Einheiten.
Die Ausgabe für alle Typen ist 0–10 V DC für den jeweiligen Messröhrenbereich, wobei eine höhere Spannung einen
Über-Bereich und eine negative Spannung anzeigt, dass die Messröhre oder der TIC eine Nullstellung erfordert. Fast
immer sind die Bereiche absolut, so dass ein Capman mit 0–10 mbar bei einem Druck von 10 mbar 10 V ausgibt.
Die Capman-Messröhre verfügt zusätzlich zu den am Anfang von
Menüoption
Beschreibung
Range
Es ist unbedingt erforderlich, den korrekten Bereich auszuwählen, da andernfalls die
Druckwerte völlig fehlerhaft sind.
Die Bereichsoptionen sind: 2000, 1000, 200, 100, 20, 10, 2, 1, 0,2, 0,1, 0,05.
Scrollen Sie zu „Range", und betätigen Sie „Auswahl". Scrollen Sie, um die Option zu ändern,
und nehmen Sie die gewünschte Änderung mit „Auswahl" vor.
Hinweis:
Units
Dies sind die Bereichseinheiten, NICHT die Anzeigeeinheiten, so kann beispielsweise ein
Capman den Bereich von 10 Torr haben, der Druck wird jedoch in mbar angezeigt. Die korrekte
Option (mbar oder Torr) muss ausgewählt werden, um fehlerhafte Druckmesswerte zu
vermeiden.
Scrollen Sie zu „Units", und betätigen Sie „Auswahl". Scrollen Sie, um die Option zu ändern,
und nehmen Sie die gewünschte Änderung mit „Auswahl" vor.
Set Zero
Die Ausgabe eines Kapazitätsmanometers sollte am unteren Ende des Betriebsbereichs 0 V
betragen, was für fast alle Messröhren ein absolutes Vakuum ist. Es ist völlig normal, eine
kleine Abweichung bei diesem Nulldruckwert zu haben, entweder positiv oder negativ.
Der Nullpunkt kann entweder mit dem Potenziometer auf der Messröhre (vorzugsweise) oder durch
Einfügen eines entsprechenden Offsets in den TIC-Messwert zurückgesetzt werden. Letzteres kann
nur erreicht werden, wenn die Ausgangsspannung der Messröhre unter 100 mV liegt.
Scrollen Sie zu „Set Zero", und betätigen Sie „Auswahl".
„Command Sent" wird 1 Sekunde lang angezeigt, um zu bestätigen, dass Null angefordert
wurde. Wenn die Spannung der Messröhre zu hoch ist, um die Nullstellung wirksam werden zu
lassen, wird eine Warnmeldung generiert.
Tabelle 25 – Diagnosemeldungen (Fortsetzung)
Beschreibung
Die Emission kann nicht unmittelbar nach dem Einschalten der Messröhre eingerichtet
werden, da die Heizfadenleistung langsam erhöht werden muss. Dieser Vorgang kann
maximal 22 Sekunden dauern. Die Meldung „initialising" bedeutet, dass dieser
Anlauftimer läuft. Wird die Emission nicht vor Ablauf der 22 Sekunden eingerichtet, wird
eine Fehlermeldung ausgegeben. Siehe auch Abschnitt „Restrike".
Der IGC hat entweder die Emissionen nicht eingerichtet oder die Emissionen verloren.
Dafür gibt es eine Vielzahl von möglichen Gründen, darunter gebrochene(r)
Messröhrenelektrode oder Heizfaden und getrennte Kabel. Andere weniger
offensichtliche Gründe sind eine Verunreinigung des Heizfadens, eine ungeeignete
Kopf- oder Heizfadenauswahl, eine Überlast der Stromversorgung oder ein zu hoher
Druck. Der IGC-interne Druckgrenzwert basiert auf der Ausgangssignalspannung bei
9,84 V (± 0,11 V). Wenn die Sensitivität der Messröhre 10/mbar beträgt, muss der Druck
-3
unter 5,4 x 10
mbar liegen, um die Emission zu gewährleisten. Als Druck variiert der
Wert jedoch mit der Sensitivität der Messröhre.
Tabelle 26 – Einstelloptionen für Kapazitätsmanometer
Kapazitätsmanometer mit 0,05 mbar, eingestellt auf kPa, werden in Pascal angezeigt.
Abschnitt 4.8
gezeigten über weitere Menüoptionen.
Seite 33
D39701882 Ausgabe H
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Diese Anleitung auch für:

Tic turbo controller

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