Wide-Range-Messröhre (Wrg); Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Aigx-Messröhren; Einrichtungsoptionen Für Wrg-Messröhren - Edwards Tic Instrument Controller Betriebsanleitung

AIGX verfügt über eine integrierte Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe
Tabelle 21 – Fehler-/Diagnoseüberwachung bei AIGX-Messröhren
Diagnosemeldungen
Over Range
Over Pressure
Emission Error
Under Range
Initialising
4.8.7 Wide-Range-Messröhre (WRG)
Hinweis: Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum Einsatz von WRG-Messröhren sind der
Betriebsanleitung (D14701885) zu entnehmen.
Eine WRG ist eine kombinierte Pirani- und Penning-Messröhre in einer einzigen kompakten Einheit. Die WRG misst
den Druck vom Atmosphärendruck bis zu 1 x 10
einen logarithmischen/linearen Ausgang im Bereich von 2–10 V Gleichspannung. Der Pirani-Teil der Messröhre
misst von Atmosphärendruck bis 1 x 10
-9 -3
1 x 10 mbar (7,5 x 10 bis 7,5 x 10
-2
zwischen 1 x 10 und 1 x 10
Eine WRG-Messröhre hat zusätzlich zu den gezeigten noch weitere Menüoptionen. (Siehe „Standard-
Einrichtungsoptionen (alle Messröhren)"
Menüoption
Calibrate
Beschreibung
(Messröhrenausgabe > 9,800 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das
Elektronikmodul ersetzt werden sollte.
(Messröhren-Ausgabe = 9,700 V)
Zeigt an, dass die Messröhre automatisch abgeschaltet wurde, weil der Druck
-2
über 6,6 x 10 mbar (5 x 10
Verringern Sie den Druck und aktivieren Sie die Messröhre wieder.
(Messröhren-Ausgabe = 9,500 V)
Zeigt an, dass entweder der Heizfaden gebrochen ist (Umschaltung) oder dass
die Messröhre bei einem zu hohen Druck aktiviert wurde – Druck verringern und
erneut aktivieren.
Die Stromversorgung liegt außerhalb der Spezifikation – überprüfen Sie die
Kabel (Länge und Querschnitt).
(Messröhrenausgabe < 0,025 V)
Zeigt an, dass entweder die interne Sicherung der Messröhre durchgebrannt ist
oder dass ein Defekt an der Messröhre vorliegt. Die Sicherung sollte wie in der
AIGX-Anleitung beschrieben ausgetauscht werden; wenn der Fehler weiter
besteht, sollte das Elektronikmodul ausgetauscht werden.
Zeigt an, dass die Messröhre einen Emissionsstrom aufbaut. Dies dauert etwa
5 Sekunden.
-9
mbar (7,5 x 10
-3
mbar (7,5 x 10
-10
Torr) misst. Die Ausgabe beider Sensoren wird zur Bestimmung des Drucks
-3 -3
mbar (7,5 x 10 und 7,5 x 10
Abschnitt 4.8.1
Tabelle 22 – Einrichtungsoptionen für WRG-Messröhren
Beschreibung
Ermöglicht dem Anwender die Durchführung von Atmosphärendruck- und
Vakuumeinstellung auf der WRG-Messröhre.
Schließen Sie die WRG-Messröhre an den TIC an und betreiben Sie sie mindestens
10 Minuten bei Atmosphärendruck.
Scrollen Sie zu „Calibrate" und betätigen Sie anschließend „Auswahl".
„Command Sent" erscheint 1 Sekunde lang, um die Ausführung der Anweisung zu
bestätigen.
Die WRG führt jedes Mal, wenn sie unter 1 x 10
automatisch eine Vakuumeinstellung für die Pirani-Messröhre durch.
Tabelle
-2
Torr) angestiegen ist.
-10
Torr). Die WRG ist gasabhängig und verfügt über
-3
Torr), während das invertierte Magnetron von 1 x 10
-4
Torr) verwendet.
(Siehe Tabelle 22 und Abbildung
-4
mbar (7,5 x 10
Seite 29
D39701882 Ausgabe H
21.)
22.)
-5
Torr) gepumpt wird,
-2
bis