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DEUTSCH, seite 1
ENGLISH, page 34
EWR 2 Net MFC Mode
Tab. 13
Name
Neopentane
Nitrogen
Nitrogen dioxide
Nitrogen monoxide
Nitrogen trifluoride
Nitrosyl chloride
Nitrous oxide
Octafluoropropane
Oxygen
Oxygen difluoride
Ozone
Pentafluoroethane
Pentane
Perchloryl fluoride
Perfluoro-2-butene
Perfluorocyclobutane
Phosgene
Phosphine
Phosphorus pentafluoride
Phosphorus trifluoride
Propadiene
Propane
Propene
Propyne
Silicon tetrachloride
Silicon tetrafluoride
Sulfur dioxide
Sulfur hexafluoride
Sulfur tetrafluoride
Sulfur trioxide
Sulfuryl fluoride
Tetrafluoroethylene
Tetrafluorohydrazine
Tetrafluoromethane
Trichlorofluoromethane
Trichlorosilane
Trifluoromethane
Trimethylamine
Tungsten hexafluoride
Uranium hexafluoride
Vinyl bromide
Vinyl fluoride
Water vapor
Xenon
Conversion table
Abbreviation
Factor
C5H12
0.634
N2
1.017
NO2
0.794
NO
0.982
NF3
0.637
NOCl
0.658
N2O
0.809
C3F8
0.386
O2
0.951
OF2
0.731
O3
0.775
C2HF5
0.491
C5H12
0.634
ClO3F
0.527
C4F8
0.380
C4F8
0.371
COCl2
0.541
PH3
0.919
PF5
0.477
PF3
0.575
C3H4
0.840
C3H8
0.802
C3H6
0.822
C3H4
0.841
SiCl4
0.413
SiF4
0.525
SO2
0.665
SF6
0.442
SF4
0.518
SO3
0.601
SO2F2
0.528
C2F4
0.535
N2F4
0.529
CF4
0.572
CCl3F
0.459
SiHCl3
0.463
CHF3
0.640
C3H9N
0.700
WF6
0.312
UF6
0.287
C2H3Br
0.521
C2H3F
0.788
H2O
1.268
Xenon
0.468
15 Conversion table
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