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<3. Installation, Verdrahtung, Ausrichtung der optischen Achse und Verrohrung>
3.4.1
Spülgasverrohrung
(1) Wenn die Online-Validierungsfunktion nicht verwendet wird
Erfolgt die Installation direkt im Prozess (In-Situ) und die Validierungsfunktion wird nicht
verwendet, schließen Sie die Verrohrung an wie in Abb. 3.21 dargestellt.
Spülgas für Optik
Spülgas für Validierbereich
Abb. 3.14 Verrohrung ohne Verwendung der Online-Validierungsfunktion/Prozess vor Ort
(2) Wenn die Online-Validierungsfunktion verwendet wird
Verbinden Sie die Rohre wie in Abbildung 3.22 gezeigt.
Vergewissern Sie sich, dass Gas während der Validierung zugeführt wird. Verbinden
Sie die Rohre mit einem Dreiwegeventil, damit zwischen Stickstoffgas und Prüfgas
umgeschaltet werden kann.
Spülgas für Optik
Spülgas für
Validierungs-
bereich
Prüfgas zur Validierung
Abbildung 3.15 Verrohrung bei Verwendung der Online-Validierungsfunktion
Spülgas für Reflektor
Spülgas für Prozessfenster
Spülgas für Reflektor
Spülgas für das Prozessfenster
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
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