Inhaltsverzeichnis
Werbung
(5) Entfernen Sie jeglichen Staub von dem Reflektor. Entfernen Sie die drei
Sicherungsschrauben von dem Reflektor und nehmen Sie ihn ab.
Abb. 9.3
Reflektor
(6) Blasen Sie zuerst alle Feststoffanteile vom Prozessfenster mit sauberer, trockener
Instrumentenluft oder Stickstoff ab.
(7) Verwenden Sie warme, milde Seifenlösung, wischen sie das Fenster mit einem weichen
Tuch vorsichtig ab, und achten Sie sorgfältig darauf, es nicht zu zerkratzen. Falls immer
noch Verschmutzungen vorhanden sind, versuchen Sie, diese mit Alkohol (z. B. Isopropyl-
Alkohol) zu entfernen.
(8) Blasen Sie die Fensteroberfläche mit sauberer, trockener Instrumentenluft oder Stickstoff
trocken.
(9) Überprüfen Sie die gesamte Fensteroberfläche sorgfältig aus verschiedenen Blickwinkeln,
um sicherzustellen, dass sie vollständig gereinigt ist.
HINWEIS
Wenn die Verunreinigung nicht entfernt werden kann, tauschen Sie den Reflektor gegen ein
neues Teil aus.
(10) Installieren Sie den gereinigten Reflektor an der Lanze. Richten Sie den Reflektor und
die Kerbe an der Spitze der Lanze aus. Befestigen Sie die drei statischen Schrauben
nacheinander, bis die Kraft gleichmäßig auf diese drei Schrauben verteilt ist.
(11) Installieren Sie die Lanze und den Analysator wie in 3.1 beschrieben im Prozess. Wenn der
Übertragungsgrad deutlich geringer ist als vor der Reinigung, richten Sie die optische Achse
neu aus.
Reinigungsseite
Abb. 9.4
Reflektor
<9. Inspektion und Wartung>
Kerbe
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
9-10
Werbung
Inhaltsverzeichnis
