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(3) Ausspülen des Prüfgases (Spülen mit Prozessgas)
Es wird automatisch zum Prozessstrom umgeschaltet und die Validierzelle wird mit
Prozessgas gespült, um das Validiergas komplett auszuspülen. Die Spüldauer ist der
Wert, der in „Normal gas Purge time" festgelegt wurde. Tippen auf Abort bricht den
Validiervorgang ab.
(4) Überprüfen des Validierungsergebnisses
Das Ergebnis der Offline-Validierung wird angezeigt. Als Ergebnis der Validierung wird
entweder „PASSED" (erfolgreich) oder „FAILED" (fehlgeschlagen) angezeigt und die
Validierung ist damit abgeschlossen. Ist die Validierung fehlgeschlagen, wird eine Warnung
angezeigt (siehe „9.2.3
zurückzukehren.
9.8.4
Abbruch der Stabilisierungs-Wartezeit bei
automatischer oder semi-automatischer Ausführung
Da bei der Online-Validierung der Messwert im normalen Prozesszustand für das
Validierungsergebnis verwendet wird, kann die Stabilisierungs-Wartezeit nicht abgebrochen
werden. Ein Abbruch der Stabilisierungs-Wartezeit führt zum Abbruch der Validierung selbst und
das Ergebnis wird nicht angezeigt.
<9. Inspektion und Wartung>
Ausführung"). Tippen Sie auf OK, um zum Konfigurationsmenü
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
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