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Für Einzelheiten zur Verdrahtung siehe „3.2 Verdrahtung".
(b) Verrohrung
Beachten Sie „3.4
ursprünglichen Zustand des Analysators vor seinem Ausbau wiederherzustellen.
(9) Zufuhr von Spülgas
Nach Abschluss von Verdrahtung und Verrohrung führen Sie das Spülgas zu.
Da sich der interne Druck des Spülgases für das Prozessfenster erhöhen kann, wenn
ein Prozess-Isolierventil (Kugelventil) verwendet wird, öffnen Sie das Ventil unmittelbar
nachdem Sie die Zufuhr des Spülgases für das Prozessfenster gestartet haben.
(10) Einschalten der Spannungsversorgung
Schalten Sie die Spannungsversorgung ein. Vergewissern Sie sich, dass das TDLS8200
normal startet.
(11) Ausrichtung der optischen Achse
Beachten Sie „3.3 Ausrichtung der optischen Achse" und richten Sie die optische Achse
aus.
(12) Überprüfung der Einstellungen
Stellen Sie die Einstellungen auf die Werte zurück, die Sie sich beim Ausbau des TDLS8200
notiert haben, sofern erforderlich.
a) Optische Prozesspfadlänge
b) Prozessdruck
c) Prozesstemperatur
d) Übertragungsgrad
e) Prozessfenster/Reflektor-Spüldurchflussrate
9.4
Offline-Validierung
Das Grundkonzept der Offline-Validierung besteht darin, die Zuverlässigkeit der
Gaskonzentrationsmessungen zu prüfen. Beim Validierverfahren wird das TDLS8200 von der
Prozessmessung entfernt und an eine Kalibrier- oder Durchflusszelle montiert, durch die ein
bekanntes Prüfgas geleitet wird.
Vor der Durchführung der Validierung sind die folgenden Informationen in das TDLS8200 einzugeben:
• Druck des Spülprüfgases
• Temperatur des Spülprüfgases
• Länge der Kalibrierzelle
• Spülprüfgaskonzentration
Das grundlegende Vorgehen ist wie folgt:
• Stellen Sie die bekannten Validierungsparameter ein.:
• Spülen Sie die Validierzelle mit dem Prüfgas mit bekannter Konzentration.
=> Die gemessene Konzentration des Prüfgases wird im TDLS8000 aufgezeichnet.
=> Aus den bekannten Parametern wird der zu erwartende Wert für das Prüfgas berechnet.
=> Der zu erwartende Wert und tatsächlich gemessene Wert werden verglichen und
validiert („pass" oder „fail"; d. h. erfolgreich oder fehlgeschlagen).
HINWEIS
Bei der Validierung handelt es sich um ein Verfahren zur Prüfung, ob das TDLS8200 ordnungsgemäß
arbeitet. Falls bei der Messung ein Fehler auftritt, führen Sie die Kalibrierung durch.
Nach dem Ausbau des Analysators aus dem Prozess und der Installation an der Kalibrierzelle
muss normalerweise eine Offline-Validierung vorgenommen werden.
AI/AO/DO/DI-Kabel (falls erforderlich)
Verrohrung" und schließen Sie die Rohre an, um den
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
9-21
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