Inhaltsverzeichnis
Werbung
VORSICHT
Schalten Sie das TDLS8200 vor allen Wartungs-/Inspektionsarbeiten aus.
(1) Entfernen Sie den Analysator vom Prozess.
(Trennen Sie ihn gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie beispielsweise ein
Prozessabsperrventil nutzen.)
(2) Lösen Sie die vier M4-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters in der Lanze und
nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
(3) Blasen Sie zuerst alle Feststoffanteile vom Prozessfenster mit sauberer, trockener
Instrumentenluft oder Stickstoff ab.
(4) Verwenden Sie warme, milde Seifenlösung, wischen sie das Fenster mit einem weichen
Tuch vorsichtig ab, und achten Sie sorgfältig darauf, es nicht zu zerkratzen. Falls immer
noch Verschmutzungen vorhanden sind, versuchen Sie, diese mit Alkohol (z. B. Isopropyl-
Alkohol) zu entfernen.
(5) Blasen Sie die Fensteroberfläche mit sauberer, trockener Instrumentenluft oder Stickstoff
trocken.
(6) Überprüfen Sie die gesamte Fensteroberfläche sorgfältig aus verschiedenen Blickwinkeln,
um sicherzustellen, dass sie vollständig gereinigt ist.
HINWEIS
Ist die Reinigung des Fensters erfolglos, sollte eine neue Fensterbaugruppe eingesetzt werden.
Scheint die Fensteroberfläche angeätzt zu sein, ist sie höchstwahrscheinlich mit HF oder einem
anderen korrosiven Gas in Berührung gekommen. Ersetzen Sie das Fenster auch in diesem Fall
durch ein neues.
(7) Bauen Sie das gereinigte Fenster (bzw. ein neues) wieder ein.
Achten Sie genau auf die korrekte Ausrichtung des Prozessfensters. Installieren Sie es in
der gleichen Ausrichtung wie zuvor.
Ziehen Sie die Schrauben gleichmäßig fest.
(8) Nach dem Wiedereinbau des Prozessfensters ist der Analysator ebenfalls wieder zu
installieren.
Wenn der Übertragungsgrad deutlich geringer ist als vor der Reinigung, richten Sie die
optische Achse neu aus und verwenden sie.
O-Ring
Prozessfenster
Inbuskopfschraube
Abb. 9.1
Demontage und Montage des Prozessfensters
9.1.4
Reinigung der Lanze
Die Lanze kann unter den folgenden Bedingungen verunreinigt werden.
• Staubansammlung aufgrund von Langzeitnutzung
Spülblock
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
9-7
Werbung
Inhaltsverzeichnis
