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9.3.2
Vorbereitungsverfahren
Führen Sie die folgenden Vorbereitungsarbeiten durch. Die Spülgasverrohrung ist bei Offline-
Validierung, Nullkalibrierung und Bereichskalibrierung unterschiedlich. Details siehe Abschnitte
9.4, 9.5 und 9.6.
VORSICHT
• Setzen Sie das TDLS8200 keinen Erschütterungen und Stößen aus, wenn Sie es vom
Prozess auf eine Kalibrierzelle bzw. von der Kalibrierzelle zurück in den Prozess umsetzen.
Andernfalls können Fehlfunktionen die Folge sein.
• Entfernen Sie den Analysator während der Kalibrierungsarbeiten auf keinen Fall bei
eingeschalteter Spannungsversorgung.
• Steht das Prozessgas unter Überdruck, schalten Sie das TDLS8200 vom Prozess ab,
stoppen Sie die Prozessfenster-Spülung und achten Sie darauf, die Prozessfenster keinen
hohen Drücken auszusetzen.
(1) Aufzeichnen der Einstellungen
Prüfen Sie die folgenden Einstellungen und Prozessbedingungen, bevor Sie den Analysator
ausbauen.
Sie werden beim Wiedereinbau des TDLS8200 in den Prozess benötigt.
• Optische Prozesspfadlänge
• Prozessdruck (nur aufzeichnen, wenn der Druckeingabemodus „Fixed" ist)
• Prozesstemperatur (nur aufzeichnen, wenn der Temperatureingabemodus „Fixed" ist)
• LD1 Übertragung
• LD2 Übertragung
• Prozessfenster/Reflektor-Spüldurchflussrate (wird nur aufgezeichnet, wenn die Spülung
angehalten wurde)
(2) Ausschalten des TDLS8200
Schalten Sie die Spannungsversorgung des TDLS8200 aus.
(3) Ausbau des Analysators
(a) Spülgaszufuhr stoppen
Stoppen Sie die Zufuhr von Stickstoffgas (oder Instrumentenluft) für die optische Spülung.
Stoppen Sie die Prozessfensterspülung und Reflektorspülung bei Bedarf.
(b) Entfernen der Verrohrung
Entfernen Sie die Verrohrung vom TDLS8200. Um den Wiedereinbau nach der Offline-
Validierung oder -Kalibrierung zu erleichtern, wird empfohlen, die Rohrleitungen zu
kennzeichnen.
Die optische Spülung wird auch in der Kalibrierzelle angewendet. Entfernen Sie sie nach Bedarf.
Schützen Sie die TDLS8200-Ports und Bereiche der Rohrmuffen mit Vinylband oder Ähnlichem.
(c) Entfernung der Verdrahtung (bei Bedarf)
Entfernen Sie die Verdrahtung.
Achten Sie sorgfältig darauf, die Leiter nicht kurzzuschließen. Isolieren und schützen Sie die
entfernten Leiter mit Vinylband oder Ähnlichem und binden Sie sie zusammen. Achten Sie
darauf, die Leiter nicht zu belasten. (Für Einzelheiten zur Verdrahtung siehe „3.2 Verdrahtung".)
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
9-17
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