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(4) Rückschlag beendet
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9.1.3
Reinigung von Prozessfenstern
Unter normalen Betriebsbedingungen und bei ordnungsgemäßer Durchführung der Spülung der
Prozessfenster tritt eine Verschmutzung der Prozessfenster kaum auf. Allerdings können die
Prozessfenster verschmutzen oder beschlagen werden, wenn folgende Bedingungen vorliegen:
• Wegen Duchfluss- oder Druckverlust des Fenster-Spülgases gelangt das verschmutzte
Prozessgas direkt in Kontakt mit dem Fenster und hinterlässt dort Verunreinigungen.
• Wenn die Oberfläche eines heißen Prozessfensters kondensiert
• Wenn Gas, das die Qualität des Prozessfensters beeinträchtigen könnte (z. B.
Fluorwasserstoff auf BK-7), in Kontakt mit dem Fenster gerät
• Wenn Partikel, Öl oder Ähnliches aus der Spülgaseinrichtung an der Oberfläche des
Prozessfensters haftet
Wenn die Oberfläche des Prozessfensters verschmutzt ist, entfernen Sie das Fenster und
reinigen Sie es anhand des folgenden Verfahrens.
VORSICHT
• Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess
komplett gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die
Atmosphäre entweichen kann.
• Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
<9. Inspektion und Wartung>
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
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