Wartung
8.2 Transmitter zerlegen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Benötigte Werkzeuge
● Innensechskantschlüssel, SW 1,5
● Innensechskantschlüssel, SW 3
● Gabelschlüssel, SW 7
● Zange für Sicherungsring
● Pinzette
12
Abb. 13:
1 Elektronikeinheit
2 Gewindestift
3 FPM-Dichtung (Pirani-Messelement)
4 Pirani-Messelement
5 Sicherungsscheibe (3×)
6 Innensechskantschraube (3×)
7 Druckstück
8 Anode
Transmitter zerlegen
1. Demontieren Sie den Transmitter aus dem Vakuumsystem.
2. Lösen Sie den Gewindestift seitlich an der Elektronikeinheit.
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derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
14
13
Einzelteile
HINWEIS
1
16
15
4
3
10
11
9
Zündhilfe
10
FPM-Dichtung (Anodendurchführung)
11
Innenring
12
Sicherungsring
13
Poleinsatz
14
Messkammer
15
Sechskantschraube
16
Magneteinheit
2
6
5
7
8
9