Abb. 8: Druckbereich > 10 Hpa, Reiner Pirani-Betrieb; Abb. 9: Druckbereich Von 10 Bis 0,1 Hpa - Pfeiffer Vacuum PKR 251 Betriebsanleitung

p [hPa]
10 2
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10 –1
8
6
4
2
Water vapor
10 –2
–3 –2
10 10
2 4 6 8 2
Abb. 8:
Druckbereich > 10
p [hPa]
10
–1
8
6
4
2
10 –2
8
6
4
2
10 –3
8
6
4
2
10 –4
8
6
4
2
10 –5
8
6
4
2
10
–6
10 –6 10 –5
2 4 6 8 2
Abb. 9:
Druckbereich von 10
–1 0
10 10
4 6 8 2 4 6 8 2
-2 hPa, reiner Pirani-Betrieb
Ar
Air
N
2
O
2
CO
He
10 –4 10 –3
4 6 8 2 4 6 8
-6 bis 0,1 hPa
H He Ne
2
Air
N
2
O
2
CO
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1 2
10 10
4 6 8 2 4 6 8
p [hPa]
eff
10 –2
2 4 6 8 2 4 6 8
p [hPa]
eff
Betrieb
10 –1
25/50