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Zündverzögerung Beachten; Tab. 8: Kalibrierfaktoren Für Den Druckbereich - Pfeiffer Vacuum PKR 251 Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter
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Betrieb
Kalibrierfaktoren
Im Druckbereich < 10
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 8:
Kalibrierfaktor in ein Totaldruck-Mess- und Steuergerät eingeben
► Geben Sie den Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes ein.
Druck für andere Gase als Luft berechnen
► Berechnen Sie den effektiven Druck nach folgender Formel:
6.4 Zündverzögerung beachten
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Diese Zündverzögerung
nimmt mit tieferen Drücken zu und dauert bei sauberen, entgasten Geräten typischerweise:
● 10
● 10
● 5 × 10
Die Zündung ist ein statistischer Prozess, den bereits geringe Ablagerungen auf den inneren Oberflä-
chen stark beeinflussen. Solange das Kaltkathoden-Messsystem nicht gezündet hat, gibt der Signalaus-
gang den reinen Pirani-Messwert wieder (Anzeige "Pirani-Underrange" bei Drücken p < 5 × 10
Der Identifikationsausgang signalisiert reinen Pirani-Betrieb.
26/50
-5
hPa ist die Anzeige linear.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10
P
= C × p
eff
● P
= effektiver Druck
eff
● C = Kalibrierfaktor
● p = angezeigter Druck (Transmitter abgeglichen für Luft)
-5
hPa ca. 1 Sekunde
-7
hPa ca. 20 Sekunden
-9
hPa ca. 2 Minuten
Einschalten bei einem Druck p < 3 × 10
Falls Sie den Transmitter bei einem Druck p < 3 × 10
ter nicht erkennen, ob das Kaltkathoden-Messsystem gezündet hat. Der Transmitter zeigt
"Pirani-Underrange" an.
Transmitter in Betrieb halten
Wenn Sie den angeflanschten Transmitter unabhängig vom Druckbereich dauernd in Be-
trieb halten, ist dadurch die Zündverzögerungszeit des Kaltkathoden-Messsystems immer
vernachlässigbar (< 1 s), und thermische Stabilisierungseffekte sind minimiert.
)
2
-5
hPa
-9
hPa
-9
hPa einschalten, kann der Transmit-
Kalibrierfaktor (C)
1,0
2,4
5,9
4,1
0,8
0,5
0,4
-4
hPa).

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Diese Anleitung auch für:

Pt r26 000Pt r26 001Pt r26 002

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