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Abgleich vorbereiten
1. Achten Sie auf gleiche Einbau- und Umgebungsbedingungen wie bei Normalanwendung.
2. Prüfen Sie ggf. den Filter auf Verschmutzung.
3. Ersetzen Sie ggf. den Filter, wenn der Filter verschmutzt oder beschädigt ist.
4. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
Abgleich mit Anzeige- und Steuergerät durchführen
► Gleichen Sie den Transmitter gemäß der Betriebsanleitung des Anzeige- und Steuergeräts ab.
HV abgleichen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Evakuieren Sie das Vakuumsystem auf einen Druck << 1×10
3. Warten Sie mindestens 10 Minuten.
4. Stellen Sie Druckjustierpunkt über Parameter [P:741] auf "000" für niedrigen Druck ein.
5. Stellen Sie Druckwert über Parameter [P:740] auf "000000" für niedrigen Druck ein.
ATM abgleichen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
3. Stellen Sie Druckjustierpunkt über Parameter [P:741] auf "001" für hohen Druck ein.
4. Stellen Sie Druckwert über Parameter [P:740] auf Atmosphärendruck ein.
10.3 Messsystem austauschen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Voraussetzungen
● Messsystem stark verschmutzt,
● Messsystem sichtbar beschädigt oder
● Transmitter defekt (z. B. Anode gebrochen)
Benötigtes Ersatzteil
● Ersatz-Messsystem
– Dies entspricht p < 1 ×10
– Beispiel: 1000 hPa = [P:740] mit Wert "100023"
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
-5
(under range).
HINWEIS
-5
hPa.
Wartung
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