Störungen
8.1
Sensorkopf austauschen
Demontage
Montage
9
Störungen
9.1
Störungsbehebung
18
Bei einem Sensordefekt oder wenn der Transmitter nach einer Reinigung nicht abgegli-
chen werden kann, muss die Sensorbaugruppe 5 ausgetauscht werden.
5
4
3
Abb. 8: Sensorbaugruppe austauschen
Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen.
Spannungsversorgung am Steuergerät/Netzteil ausschalten bzw. Geräte vom Netz
trennen.
Verbindungskabel lösen.
Transmitter von der Vakuumapparatur demontieren.
Rändelmuttern 3 an der Flanschseite herausdrehen,
– auf Dichtscheiben 4 achten, da sie die Schutzklasse gewährleisten.
Sensorbaugruppe 5 (Gehäusedeckel und Flansch) aus dem Gehäuse ziehen.
Die Montage erfolgt in umgekehrter Reihenfolge.
Ersatz-Sensorbaugruppe 5 in das Gehäuse einbauen;
– dabei vorsichtig die Stiftleiste in den Sockel einstecken,
– auf korrekten Sitz des O-Rings 6 achten.
Rändelmuttern 3 wieder eindrehen, auf Dichtscheiben 4 achten.
Transmitter installieren
Transmitter abgleichen.
Fehler
Kommunikationsfehler: Transmitter ● Keine Versorgungsspannung
Im Hochvakuum wird ein zu hoher
Wert gemessen
6
5a
Mögliche Ursache
● Falscher Schnittstellentyp oder
falsche Adresse eingestellt
● Transmitter defekt
● Starkes Ausgasen des Sensors
● Transmitter defekt
7
Behebung
Datenkabel oder Netzteil
anschließen.
Adresswahlschalter korrekt
einstellen.
Transmitter austauschen
Transmitter ausgasen.
Transmitter austauschen.