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4.2 Messsystem
Statuserkennung
4.3 Ausheizen
14
Beim Penning-Messverfahren lässt sich ausschließlich im Messbetrieb auf die
störungsfreie Funktion - d.h. bestehende Gasentladung - schließen.
Die störungsfreie Funktion (LED "READY" (6/2) leuchtet; Statusausgang HIGH) ist
dadurch gekennzeichnet, dass ab einem Druck von ca. 3·10
bereichsgrenze von 1·10
-2
Bei Unterschreitung von 3·10
Wenn die LED „READY" (6/2) nicht leuchtet, Statusausgang 0 V:
Ursache 1:
Bei Einschalten der Hochspannung ist der Druck p <3·10
Ursache 2:
Keine Zündung der Gasentladung trotz Betriebsspannung ein, Hoch-
spannung ein, und einem Druck zwischen ca. 3·10
1·10
-2
mbar.
WARNUNG
Vor dem Ausheizen der Messzelle muss die Elektronikeinheit unbe-
dingt von der Messzelle abgezogen werden. Die Elektronikeinheit
kann bei Temperaturen von mehr als 70 °C zerstört werden.
Voraussetzung für die Ausheizbarkeit ist die Verwendung einer Alu-
miniumkantendichtung (PTR 225 / PTR 225 S) bzw. eines Kupferdicht-
rings (PTR 237) als Flanschdichtung.
Die Penning-Messröhren PTR 225, PTR 225 S oder PTR 237 sind mit Messzellen
in Ganzmetallausführung ausgestattet, so dass durch Polymerdichtungen verur-
sachte Gasabgabe nicht auftritt.
Die Gasabgabe der Metalloberflächen kann nach Abziehen der Elektronik (siehe
Abschnitt 5.2.1) durch Ausheizen der Messzelle reduziert werden, wodurch im
Druckbereich unterhalb 1·10
Bei überwiegendem Einsatz im UHV-Bereich (< 10
Kathodenblech zu entfernen. Dadurch werden die gasabgebenden Oberflächen
reduziert.
Die Vorgehensweise beim Abziehen der Elektronikeinheit wird unter Punkt 5.2
(Reinigen des Sensors) erläutert.
Zulässige Ausheiztemperaturen:
Messzelle PTR 225 / 225 S: 150 °C
Messzelle PTR 237:
mbar ein druckabhängiges Messsignal vorhanden ist.
-9
mbar bleibt dieser Status ebenfalls erhalten.
-6
mbar die Anzeigegenauigkeit verbessert wird.
-8
mbar) wird empfohlen, das
(mit Aluminiumkantendichtung)
350 °C
-9
mbar bis zur Mess-
-9
mbar.
-9
mbar und
BG 5043 BDE / B
(2021-02)
PTR225_237.bet
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