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Wartung
ATM-Abgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
3. Stellen Sie Druckjustierpunkt über Parameter [P:741] auf "001" für hohen Druck ein.
4. Stellen Sie Druckwert über Parameter [P:740] auf den exakten Atmosphärendruck ein.
10.3 Sensorbaugruppe austauschen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Ein Austausch der Sensorbaugruppe ist in folgenden Fällen notwendig:
● Sensor stark verschmutzt
● Abgleich des Sensors nicht möglich
● Sensor defekt (z. B. Filament gebrochen)
Benötigtes Werkzeug
● Torxschlüssel, T 6
Benötigtes Ersatzteil
● Ersatz-Sensorbaugruppe
1
Abb. 10:
1 Torxschrauben
2 Dichtscheiben
3 Sensor
Vorgehen
1. Demontieren Sie den Transmitter vom Vakuumsystem.
2. Lösen Sie die Torxschrauben und Dichtscheiben.
34/48
– Beispiel: 980 hPa = [P:740] mit Wert "980022"
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
3
2
Sensorbaugruppe austauschen
4
5
HINWEIS
4
Dichtung
Gehäuse
5
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