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Abb. 9: Druckbereich Von 10 Bis 0,1 Hpa - Pfeiffer Vacuum PKR 261 Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter
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Druckbereich von 10
-6
bis 0,1 hPa
p [hPa]
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
10
–4
8
6
4
2
10
–5
8
6
4
2
10
–6
10
–6
10
–5
4 6
8
2
2
Abb. 9:
Druckbereich von 10
Kalibrierfaktoren
Im Druckbereich < 10
-5
hPa ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft können Sie den Druck
durch eine einfache Umrechnung ermitteln:
Berechnung: P
= C × p
eff
● P
eff
effektiver Druck
● C
Kalibrierfaktor
● p
angezeigter Druck
(Transmitter abgeglichen für Luft)
Gasgemisch
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist
in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-Mas-
senspektrometer.
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
Wasserstoff (H
)
2
Helium (He)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
Ar
Air
N
2
O
2
CO
He
10
–4
10
–3
4 6 8
4 6
8
2
-6
bis 0,1 hPa
10
–2
4 6
8
4 6
8
2
2
p
[hPa]
eff
Kalibrierfaktor (C)
)
1,0
2
2,4
5,9
Betrieb
10
–1
27/54

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