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5 Installation
5.1 Vakuumanschluss herstellen
Lebensgefahr durch Stromschlag
Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten.
► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach
► Verwenden Sie für KF-Anschlüsse elektrisch leitende Zentrier- und Spannringe.
Lebensgefahr durch Stromschlag
Fehlende Erdverbindung führt zu berührungsgefährlichen Spannungen und beschädigt elektronische
Bauteile.
► Befestigen Sie die Elektronikeinheit immer mit dem Gewindestift.
► Stellen Sie sicher, dass Sie den Gewindestift der Elektronikeinheit korrekt angezogen haben.
Verletzungsgefahr durch Überdruck im Vakuumsystem
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem > 1000 hPa führt zu Verletzungen
durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
Bei KF-Anschlüssen halten elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) einem Druck > 2500 hPa nicht
stand. Dies führt zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
► Öffnen Sie keine Spannelemente, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht.
► Verwenden Sie für Überdruck geeignete Spannelemente.
► Verwenden Sie Spannelemente, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen
► Verwenden Sie Dichtringe mit einem Außenzentrierring.
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke etc.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Montage- oder Wartungsarbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie bei der Montage auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Elektrischer Überschlag durch Helium
Helium führt in der Elektronik des Gerätes zu elektrischen Überschlägen, die die Elektronik zerstören.
► Setzen Sie das Gerät außer Betrieb vor der Durchführung der Dichtheitsprüfung.
► Nehmen Sie die Elektronikeinheit ab vor der Durchführung der Dichtheitsprüfung.
GEFAHR
EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.)
GEFAHR
WARNUNG
(z. B. Spannband-Spannring).
saubere, fussel- und puderfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
HINWEIS
HINWEIS
Installation
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