Abb. 9: Druckbereich > 10 Hpa Reiner Pirani-Betrieb Pkr; Abb. 10: Druckbereich Von 10 Bis 0,1 Hpa Pkr - Pfeiffer Vacuum PKR 36X Betriebsanleitung

Betrieb
p [hPa]
10 2
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10 –1
8
6
4
2
10 –2
10
Abb. 9:
p [hPa]
10
–1
8
6
4
2
10 –2
8
6
4
2
10 –3
8
6
4
2
10 –4
8
6
4
2
10 –5
8
6
4
2
10 –6
10
Abb. 10:
28/60
Water vapor
–3 –2
10
2 4 6 8 2 4 6 8
Druckbereich > 10
–6 10 –5
4 6 8 4 6 8
2 2
Druckbereich von 10
H
–1 0
10 10
2 4 6 8 2
-2 hPa reiner Pirani-Betrieb PKR
Ar
Air
N
2
O
2
CO
He
10 –4 10 –3
4 6 8
2 2
-6 bis 0,1 hPa PKR
He Ne
2
Air
N
2
O
2
CO
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1 2
10 10
4 6 8 2 4 6 8
p [hPa]
eff
10 –2 10
4 6 8 4 6 8
2
p [hPa]
eff
–1