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Pfeiffer Vacuum PKR 261 Betriebsanleitung Seite 29

Pirani/kaltkathoden-transmitter
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Verschmutzungsgrad beeinflussen
Sie können das Maß der Verschmutzung in begrenztem Rahmen beeinflussen. Bei Dämpfen, die sich
im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten.
1. Ergreifen Sie geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in gerader Li-
nie ausbreitende Teilchen.
2. Wählen Sie eine Flanschposition, wo der Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.
3. Schalten Sie den Transmitter während der Anwesenheit abscheidender Dämpfe ab.
oder
Schotten Sie den Transmitter während der Anwesenheit abscheidender Dämpfe durch ein Ventil
ab.
Betrieb
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