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Gasartabhängigkeit; Tab. 6: Umrechnungstabelle; Abb. 8: Druckbereich > 10 Hpa, Reiner Pirani-Betrieb - Pfeiffer Vacuum PKR 261 Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter
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Betrieb
Messsignal (U)
[V]
< 0,5
0,5 – 1,82
1,82
2,0
2,6
3,2
3,8
4,4
5,0
5,6
6,2
6,8
7,4
8,0
8,6
8,6 – 9,5
9,5 – 10,5
Tab. 6:
6.3 Gasartabhängigkeit
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für Stickstoff (N
Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO). Wenn Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-
Mess- und Steuergerät (TPG) betreiben, können Sie einen Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeig-
ten Messwertes eingeben.
Druckbereich > 10
p [hPa]
10
2
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
10
Abb. 8:
26/54
Umrechnungstabelle
-2
hPa (reiner Pirani-Betrieb)
Water vapor
–3
–2
10
2
4 6
8
2
4 6 8
Druckbereich > 10
Druck (p)
[hPa]
[Torr]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-9
5,0 × 10
3,8 × 10
-8
1,0 × 10
7,5 × 10
1,0 × 10
-7
7,5 × 10
1,0 × 10
-6
7,5 × 10
1,0 × 10
-5
7,5 × 10
1,0 × 10
-4
7,5 × 10
-3
1,0 × 10
7,5 × 10
-2
1,0 × 10
7,5 × 10
0,1
7,5 × 10
1,0
0,75
10
7,5
100
75
1000
750
Messbereichsüberschreitung (overrange)
Sensorfehler (Pirani defekt)
H
–1
0
10
10
2
4 6 8
2
-2
hPa, reiner Pirani-Betrieb
[Pa]
-9
5,0 ×10
-9
1,0 × 10
-8
1,0 × 10
-7
1,0 × 10
-6
1,0 × 10
-5
1,0 × 10
-4
0,1
-3
1,0
10
-2
100
1000
1,0 × 10
1,0 × 10
), Sauerstoff (O
2
He
Ne
2
Air
N
2
O
2
CO
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1
2
10
10
4 6 8
2
4 6 8
p
[hPa]
eff
-7
-6
-5
-4
-3
-2
4
5
), trockene
2

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